판매용 중고 MTI FLEXIFAB #83580

MTI FLEXIFAB은 반도체 제조를위한 웨이퍼 준비 및 처리를 단순화하는 포토리스 (photoresist) 장비입니다. 고급 3D 아키텍처 및 이기종 통합의 벽면 에치 (etch) 프로세스를 통해 사진 해설을 가속화하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 모든 표준 제작 설비에 통합되어 다용도 (Versility) 및 확장성을 제공합니다. FLEXIFAB는 라인 스티칭, 오버레이 및 등록 문제의 해결을 자동화하는 특허 기술 ("스마트 플렉스 (Smart Flex)") 을 갖추고 있습니다. 이 장치의 확장성은 최대 8 인치 기판을 가능하게하며 최대 0.2 초의 미세한 기능 해상도로 25mm 측면 벽 옵션을 제공합니다. 스마트 플렉스 (Smart Flex) 기능은 적절한 필름 형성을 위해 통합 된 프로세스 제어를 통해 원하는 필름 두께가 1äm ~ 20õm 이상이며 레지스터가없는 웨이퍼 등록을 수행 할 수 있습니다. 포토레시스트 머신 (photoresist machine) 은 포토레시스트 패턴화 (photoresist patterning) 와 에치백 (etchback) 의 다양한 단계를 하나의 장비로 통합하여 대용량 처리량을 제공합니다. 이를 통해 프로세스가 간소화되어 제조 비용이 절감됩니다. 이 도구는 사용하기 쉽고, 최소한의 운영자 개입이 필요하며, 향상된 균일성 (unifority) 및 수율 성능을 제공합니다. 자산의 실시간 프로세스 모니터링 및 제어를 통해 프로세스 관리 (Process Management) 를 효과적으로 수행할 수 있으며, 이를 통해 처리량을 높이고 수익률을 높일 수 있습니다. MTI FLEXIFAB는 실리콘에서 GaA에 이르는 다양한 재료, 에칭, 습식 및 건조 클리닝, 스트리핑 및 나노 구조 형성과 같은 다양한 프로세스를 지원합니다. 강력한 프로세스 생성, 검토, 생산량 극대화, 소중한 인건비 절감 등 다양한 이점을 제공하는 고급 (Advanced) 광 검사 모델을 갖추고 있습니다. 이 장비는 칩에서 포토리스 (photoresist) 를 처리하고, 레이어별로 레이어를 처리하며, 전자 장치 제작을 위한 수동 Litho-etch 패턴을 사실상 제거합니다. 이 제품은 전자 제품의 신속한 프로토타입을 위해 설계되었으며, 개발 주기 단축, 비용 절감, 제품 성능 향상 등의 효과를 제공합니다. 이 photoresist 시스템은 수율을 높이고 생산 주기 시간을 줄여 비용 효과를 더욱 향상시킵니다.