판매용 중고 MTI FLEXIFAB #16662

MTI FLEXIFAB는 방향성 에너지 응용 프로그램을 위해 MTI (Molecular Track Imaging) 에서 개발 한 포토 esist 장비입니다. FLEXIFAB은 폴리머 기반 리소그래피 기술을 사용하는데, 여기에는 특정한 패턴 화 광사 층 (photoresist layer) 이 포함되는데, 여기서 photoresist 물질은 다양한 미리 결정된 경로를 따라 UV 빛의 노출에 다르게 반응한다. 이미지 대 기판비 (I/S 비율) 및 기타 매개변수를 제어함으로써, 복잡한 기판에서 원하는 패턴을 달성 할 수 있습니다. MTI FLEXIFAB는 탁월한 리소그래피 다재다능성을 갖춘 기능 지원 시스템입니다. 최신 Deep UV (DUV) 시스템과 비교할 수 있는 해상도를 생산할 수 있지만, 고가의 DUV 하드웨어가 필요하지 않습니다. 이 장치는 통합 컴퓨터 하드웨어, 맞춤형 소프트웨어, 웨이퍼 인식 및 교정 기능, 직관적인 작동으로 프로그래밍 가능합니다. FLEXIFAB 기계는 고속 작동을 위해 특별히 설계되었으며, 마이크로 일렉트로닉 장치를 신속하게 처리 할 수 있습니다. SDW (soft direct write) 및 DI (direct imaging) 와 같은 photoresist 응용 프로그램에 최적의 결과를 제공합니다. MTI FLEXIFAB는 DRAM (Dynamic Random Access Memory) 및 ASIC (Application-Specific Integrated Circuit) 의 생산에 성공적으로 활용되었습니다. FLEXIFAB은 리소그래피 범위에서 매우 정밀합니다. 이 도구는 선명도와 균일성으로 매우 훌륭한 이미지를 만들 수 있습니다. 자동 보정 (automatic calibration) 및 웨이퍼 인식 (wafer recognition) 기능은 여러 photomask 및 기판을 사용하여 구조의 완벽한 정렬 측면에서 유연성과 정밀도를 허용합니다. 이 자산에 사용 된 포토레시스트는 해상도가 매우 높아 최대 10,000X (광학 배율) 를 허용합니다. 이 모델은 특히 마이크로 전자 장치의 대량 생산에 적합합니다. 기존 기술을 정제하는 한편, 새로운 기술을 설계하는 비용 효율적인 방법도 제공합니다 (영문). 또한, 장비는 여러 기판 및 포토 마스크와 호환됩니다. 이를 통해 제조업체는 높은 반복성과 정확도로 많은 양의 제품을 빠르게 생산할 수 있습니다 (영문). 결론적으로, MTI FLEXIFAB 시스템은 고급 기능, 프로그래밍 가능성 및 속도로 볼 수있는 매우 효율적이고 기술적으로 향상된 포토 esist 유닛입니다. 매우 훌륭한 이미지를 만들 수 있으며, 여러 기판 및 photomask와 호환됩니다. 통합된 기능, 웨이퍼 인식 (wafer recognition) 및 반복성은 비용 효율적인 마이크로일렉트로닉 장치의 대량 생산에 이상적입니다.