판매용 중고 MITOMO SEMICON ENGINEERING MP-5M8K-NPS #293664056

MITOMO SEMICON ENGINEERING MP-5M8K-NPS 포토 esist 장비는 고급 실리콘 리소그래피 응용 프로그램을 위해 설계된 최첨단 솔루션입니다. 이 시스템은 청소실 환경에서 매우 정확한 기능으로 웨이퍼를 패턴화하는 데 DUV (Deep Ultraviolet) 광원을 사용합니다. 고출력 레이저와 optic, mechanical scheme, electronics 를 결합하여 최대 해상도, 처리량, 신뢰성을 제공합니다. MP-5M8K-NPS 장치는 최소 수차 아나모픽 프로젝션 머신 (anamorphic projection machine) 으로 설계되어 노출 영역을 크게 줄이고 정밀 배치 정확성을 보장합니다. 기능을 정확하게 묘사하기 위해 5 배의 감소 비율로 0.11 미크론의 해상도 기능이 있습니다. 이 도구는 최고 수준의 파워 레이저 다이오드 (laser diode) 기술로 향상되어 뛰어난 반복성과 장기적인 성능으로 최적의 처리량을 제공합니다. 또한, 자산에는 여러 슬릿 (박스) 노출을 배포 할 수있는 동시 멀티 펄스 제어를 위한 혁신적인 컨트롤러가 장착되어 있으며, 다양한 응용 프로그램에서 사진 촬영에 이상적입니다. MITOMO SEMICON ENGINEERING MP-5M8K-NPS 모델에는 광학 요소 및 레이저 다이오드를 냉각시키는 냉각 장치가 있으며, 정밀한 정렬을 보장하는 고밀도, 다축 단계가 있습니다. 혁신적인 웨이퍼 카세트 장비는 반복 성을 개선하면서 짧은 노출 시간을 제공합니다. 내장 누수 탐지기 (in-built leak detector) 및 압력 모니터는 신뢰할 수있는 투영 석판화에 필요한 진공 환경을 정확하게 제어합니다. 뛰어난 품질의 이미지 외에도 MP-5M8K-NPS 시스템은 입자 형성을 최소화하도록 설계되었습니다. 백그라운드 오염 수준을 최적화하기 위해 실시간 피드백을 제공하는 최초의 액티브 파클 카운터 (first-of-kind active particle counter) 가 장착되어 있습니다. 이 장치에는 불활성 가스 공급 기계 (inert gas supply machine) 가 있어 오염 수준을 제어하기 위해 여러 가스를 챔버에 도입 할 수 있습니다. MITOMO SEMICON ENGINEERING MP-5M8K-NPS 포토 esist 툴은 반도체 업계의 OEM (OEM) 에 리소그래피 요구를 충족하는 안정적이고 고성능 솔루션을 제공하도록 설계되었습니다. 우수한 성능, 다양한 기능, 매우 정밀한 패턴화 (patterning) 기능을 통해 모든 리소그래피 (lithography) 애플리케이션을 완벽하게 선택할 수 있습니다.