판매용 중고 MITOMO SEMICON ENGINEERING MP-1408SE #9280828

MITOMO SEMICON ENGINEERING MP-1408SE
ID: 9280828
빈티지: 2004
Plating system 2003 vintage.
MITOMO SEMICON ENGINEERING MP-1408SE는 석판화 또는 인쇄 회로 기판 용 기판을 노출시키는 데 사용되는 포토 esist 장비입니다. MP-1408SE는 UV 조명을 제공하는 진공 자외선 (VUV) 램프 소스, 금속 또는 크롬 마스크를 고정하는 마스크 단계, 램프와 마스크 사이의 광학 경로, 기판을 안전하게 고정하고 움직이는 기판 단계로 구성됩니다. 램프 소스는 라인 중심 VUV 빔을 생성합니다. 여러 개의 초점 렌즈 (focusing lenses) 가 시스템에서 매우 조율된 광학 경로를 통해 빔을 지시하는 데 사용됩니다. 이를 통해 빔을 작은 지점까지 초점을 맞출 수 있으므로 기판에 고해상도 이미지 (high-resolution image) 를 제공합니다. 이 장치에는 기판 전체에 균일성을 보장하는 확산 공준기 (diffusive colimator) 와 유출 방출 방지를위한 방패제 (shield) 도 포함되어 있습니다. 마스크 스테이지는 기판 위에 금속 또는 크롬 마스크를 고정하는 고정밀, 초안정 기계입니다. "스테이지 '는" 마스크' 를 맞추어 노출 시키는 "로울러 '도구 로 이루어져 있다. 또한 2 개의 정밀 등급 선형 단계 (수평 1 개, 수직 1 개) 를 포함하여 기판에 마스크를 정확하게 집중할 수 있습니다. 기판 단계 는 크기 나 모양 의 기판 (길이 가 최대 25mm) 을 보유 하도록 설계 되었다. 노출 과정에서 기판을 단단히 고정시키는 7 위치 척이 있습니다. "척 '은" 로터리 액추에이터' 에 장착 되어 기판 을 정확 하고 반복 할 수 있는 위치 를 제공 한다. 자외선 (UV) 필터는 램프 방사선으로부터 기판을 보호하기 위해 스테이지에 장착된다. MITOMO SEMICON ENGINEERING MP-1408SE는 신뢰성이 높고 다용도 포토 esist 자산입니다. 기판의 정확하고 반복 가능한 위치를 허용하면서, 빠르고 정확한 노출 (exposure) 을 제공합니다. 고정밀 광학 구성 요소와 견고성 강화 (Rugged) 단계는 뛰어난 화질과 균일성을 보장합니다. 그것 은 폴리 이마이드, 실리카, 유리 등 여러 가지 기질 물질 을 노출 시킬 수 있다. 또한, 조절 가능한 전원 램프 (lamp) 제어를 통해 빔의 밝기를 세밀하게 튜닝하여 최적의 해상도와 노출 시간을 제공합니다.
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