판매용 중고 MITOMO SEMICON ENGINEERING MP-1408JSE #9280830

MITOMO SEMICON ENGINEERING MP-1408JSE
ID: 9280830
빈티지: 2012
Plating system 2012 vintage.
MITOMO SEMICON ENGINEERING MP-1408JSE는 반도체 기판의 표면을 패턴화하도록 설계된 모든 기능을 갖춘 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 펄스 자외선 (pulsed ultraviolet light) 을 사용하여 기질의 광 소시스트를 조사하여, 사용자가 광 소시스트의 화학 성분을 제어하고 광화학적 특성을 활용하여 기질의 표면을 패턴화합니다. 이 장치는 3 가지 주요 구성 요소 (노출 기계, 코팅 도구 및 조사 자산) 로 구성됩니다. MP-1408JSE의 노출 모델 (exposure-model) 은 웨이퍼의 자외선 노출 강도, 파장 및 패턴을 제어 할 수있는 다단계 디지털 태블릿 장치입니다. 이를 통해 정확한 조사 제어를 통해 기판 모양이나 크기에 관계없이 균일 한 결과를 확인할 수 있습니다. 코팅 장비는 포토 esist 용매를 코팅 박스에 공급하고 분배합니다. 여기, 그것 을 혼합 하여 "웨이퍼 '에 철저 히 적용 할 수 있다. 마지막으로, 방사선 시스템은 코팅 장치에 정확하게 교정 된, 펄스 된 자외선 복사를 적용하여 원하는 광화학 반응을 생성합니다. MITOMO SEMICON ENGINEERING MP-1408JSE는 최대 300mm 크기의 기판을 수용하며 동시에 최대 8 개의 기판을 처리 할 수 있습니다. 그것의 독특한 방사선 단위는 단색 및 다색성 자외선 (polychromatic ultraviolet light) 의 효과를 결합하여 광화학 반응의 미세 제어를 가능하게한다. 통합 냉각 장치 (Integrated Cooling Unit) 는 적절한 열 안정성을 보장하며 한 패턴에서 다음 패턴으로의 결과의 일관성을 보장합니다. 또한 MP-1408JSE 는 능률적인 워크플로우 및 사용자 친화적인 제어 기능을 통해 조사 프로세스 (irradiation process) 의 상황에 맞는 모니터링을 수행할 수 있습니다. 노출 상태, photoresist 일관성, 기판 성능 및 기타 중요한 지표에 대한 피드백을 제공합니다. 또한 고급 시각 형상 도구 (Advanced Visualization Tools) 와 보고 기능 (Reporting Features) 이 포함되어 있어 프로세스를 분석하고 개선할 수 있습니다. 전반적으로 MITOMO SEMICON ENGINEERING MP-1408JSE는 포토 esist를 사용하여 기판을 패턴화하는 데 효율적이고 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다. 사용이 간편한 인터페이스와 강력한 기능으로, 안정적이고 효과적인 포토레지스트 (photoresist) 도구를 찾는 사람들에게 이상적인 선택이 됩니다.
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