판매용 중고 MIKROMAT 20 V #9066853

MIKROMAT 20 V
제조사
MIKROMAT
모델
20 V
ID: 9066853
CNC Milling machine X-Axis: 5200 Y-Axis: 3400 Z-Axis: 1250 90 kw to 58 2007 vintage.
MIKROMAT 20 V는 고급 옵토 전자, 마이크로 일렉트로닉 및 미세 구조 기반 구성 요소를 처리 및 패턴화하도록 설계된 정밀 포토 esist 장비입니다. 즉, 높은 수준의 정확도와 정밀도를 제공하여 구성요소의 해상도를 저하시키지 않고, 구성요소를 정확하게 패턴화할 수 있습니다. 이 시스템은 수직 단계 (vertical stage) 를 사용하여 단일 평면 (single plane) 에서 전체 기판을 스캔할 수 있고 광학 노출을위한 크세논 아크 램프 (xenon arc lamp) 를 사용할 수 있습니다. 20 V에는 고해상도 이미징 장치가 장착되어 최대 0.1 µm의 해상도를 제공합니다. 이미징 머신에는 컴포넌트의 정확한 위치 지정 및 패턴화를 위한 3축 서보 공구가 포함되어 있습니다. 또한, 부품의 균일 한 노출 및 처리를 보장하는 진공 밀봉 챔버가 포함되어 있습니다. 이 에셋은 사용자에게 향상된 성능과 정밀도를 제공하는 여러 가지 기능을 제공합니다. 이러한 기능에는 짧은 노출 시간, 동적 초점 규제, 동력 변환 메커니즘 (motorized translation mechanism) 및 현장 도량형 모델 (in-situ metrology model) 에 대한 빠른 처리 속도가 포함됩니다. 또한, 장비는 패턴 크기와 위치를 조정할 수있는 평면 내 (in-plane) 정렬 시스템을 제공합니다. MIKROMAT 20 V (MIKROMAT 20 V) 는 또한 터치 센서 기술을 특징으로하며, 이 기술을 통해 무접촉 감지를 통해 기판의 위치를 감지하고 제어 할 수 있습니다. 이 로 말미암아 기판 의 정확 한 조작 을 할 수 있게 되어, 구성 요소 의 질 과 정확도 를 높일 수 있게 된다. 그렇다. 마지막으로, 20V에는 포토 esist 처리를 위해 온도 조절 기계가 포함되어 있습니다. 이 도구는 극한 온도 조건에 견딜 수있는 컴포넌트 (component) 를 생산할 수 있도록 설계되어 있어 매우 균일하고 정확한 결과를 얻을 수 있습니다. 온도 조절 자산은 또한 반도체 부품의 베이킹 시간을 제어하는 데 도움이됩니다. 요약하자면, MIKROMAT 20 V는 고정밀도 및 고해상도 구성 요소를 생산하도록 설계된 최첨단 포토 esist 모델입니다. 이 장비는 고해상도 이미징 시스템, 진공 밀봉 챔버, 터치 센서 기술, 평면 내 정렬 장치, 빠른 처리 속도, 동적 초점 조절, 동력 변환 메커니즘, 현장 도량형 기계 및 온도 조절 도구를 갖추고 있습니다. 포토 esist 처리.
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