판매용 중고 LUNG PIEN LP-1800 EBA #293642698
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ID: 293642698
Vacuum coater
Diameter size: 1800 mm
Fixture size: 1600 mm
Ultimate vacuum: 10^-7 Torr / 10^-5 Pa
Maximum substrate temperature: 350°C
Cooling water flow: 180 Liters/min
Grounding resistance: <5 Ohms
Air compressor:
Pneumatic: 8 Kg/cm²
Exhaust system:
Rotary pump: 6,000 Liters /min
Strengthen pump: 2,600 M³/hour
(2) Diffusion pumps: 45,000 Liters/sec
Ultra low temperature freezers: -110°C~ -140°C
Heating system:
Micro heater: 42 kW
Film thickness gauge:
Optical film thickness meter: LP Film thickness meter wide
Quartz film thickness meter: Monolithic sensor head / six sensing head
Vacuum gauge:
Pirani+Cold cathode (1ATM~ 10^-9 Torr / 1ATM~ 10^-7 Pa)
Evaporation source:
JEOL / PLASMATECH Electron gun, 6 kW / 10 kW / 15 kW
Resistance heating: 6 kW
Cooling system:
Pressure: 4 Kg/cm²
Pressure: 2 Kg/cm²
Power supply: 110 kW.
LUNG PIEN LP-1800 EBA는 고품질 및 생산 효율성을 위해 제작 된 고급 포토 esist 장비입니다. 피난 가능한 포토레시스트 프로세서 (photoresist processor), 결함 모니터 (defectivity monitor), 센서 및 데이터 획득 전자 제품으로 구성된 자체 포함 장치입니다. LP-1800 프로세서는 고정밀 프로세스 제어를 부여하면서 일관된 처리 매개변수를 제공합니다. 결함 모니터 시스템에는 대형 HD 컬러 LCD 디스플레이가 장착되어 있어, 결함을 실시간으로 관찰하여 인라인 (in-line) 장애 감지 및 분석을 용이하게 합니다. 이 장치는 건식 (pre-dry) 공정을 위해 고급 저항제 스트리핑 기술을 사용하므로 다양한 포토 esist 재료에 적합합니다. 피드 포워드 제어기 (feed-forward control machine), 고속 처리 속도 설정, 레이저 높이, 필름 두께 모니터링 등의 고급 기능으로 최고 품질과 정밀도를 보장합니다. LP-1800 EBA는 온도, 힘, 압력, 진공 및 입자 모니터링을 포함한 포괄적 인 계측을 제공하여 정확하고 신뢰할 수있는 데이터를 제공합니다. 또한 LUNG PIEN LP-1800 EBA에는 균일 한 배치 처리에 대한 통합 피드백 제어 (feedback control) 및 즉각적인 문제 해결을 위한 자동 테스트 중지 기능이 있습니다. 이 툴은 또한 높은 자동화 (automation) 통합 기능을 갖추고 있으며, 사용자는 자체 저항 프로세스를 쉽게 프로그래밍할 수 있으며, 사용자 친화적인 터치스크린 컨트롤을 통해 다양한 프로세스 단계를 프로그래밍하고 최적화할 수 있습니다. LP-1800 EBA는 photoresist laser ablation 및 lithography와 같은 고급 프로세스 기술을 지원하는 데 적합합니다. 고성능 (Performance) 및 고급 (Advanced) 기능을 통해 고품질 (High-Yelding) 생산과 함께 일관성 있는 프로세스를 보장하고자 하는 제조 설비를 손쉽게 선택할 수 있습니다.
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