판매용 중고 LOTUS SYSTEMS CVS/CDS #293589874
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ID: 293589874
빈티지: 2009
Chemical supply mobile
Control voltage: 24 VDC
Power supply: 230 VAC, 50 Hz, 0,25 kVA
2009 vintage.
LOTUS SYSTEMS CVS/CDS는 회로 제조를 위한 비용 효율적이고, 안정적이며, 유연한 솔루션을 제공하는 포토리스 (photoresist) 장비입니다. 특히, 가공 하기 쉽고, 높은 해상도와 안정성을 가진 재료로 구성된 저항 코팅 시스템 (resist coating system) 이다. 이 장치는 화학과 코팅 기술을 결합하여 좋은 공정 반복성을 제공합니다. Photoresist 기계의 주요 구성 요소는 LOTUS Resist Coating Tool (RCS), LOTUS Coating Dispenser Asset (CDS) 및 LOTUS Photomask Alignment Model (PAS) 입니다. RCS는 구리 (copper) 또는 기타 기판에 균일 하고 신뢰할 수있는 코트를 제공합니다. 캐스팅 헤드 (Casting Head) 는 캐스팅 헤드 (Photoresist Material) 를 일관된 속도로 전달하고 정확성을 위해 모니터링됩니다. 기판 표면 위로 이동하고 균일 한 코팅 두께를 유지하는 2 개의 추적 암 (tracking arm). CDS는 정확하고 반복 가능한 양의 photoresist 물질을 제공합니다. 자동 디스펜서 (automated dispenser) 를 통해 이송 속도, 재료 온도, 저수지 수준 등을 모니터링할 수 있습니다. 이를 통해 기판에 일관된 양의 재료가 적용됩니다. 마지막으로, PAS는 기판 위에 포토 마스크 (photomask) 를 정렬하여 CDS 및 RCS와 함께 작동하므로, 기판에 있는 포토 esist의 패턴이 포토 마스크 패턴과 정렬됩니다. 이 정렬은 photomask의 정확한 배치 및 표면 읽기를 통해 달성됩니다. LOTUS SYSTEMS CVS/CDS에 사용되는 광전 물질은 일반적으로 폴리메틸 메타 크릴 레이트 (PMMA) 및 폴리 에톡시 비닐 아세테이트 (PEVA) 와 같은 중합 물질이다. 이러한 폴리머는 종종 안정적인 전기 특성 (electrical properties) 과 고객의 요구에 맞게 쉽게 수정할 수있는 기능으로 선택됩니다. 광전자는 또한 높은 감도 (photo-sensitivity) 를 특징으로하며, 이는 패턴화를 위해 제어 된 자외선 광원에 쉽게 노출 될 수 있음을 의미합니다. LOTUS SYSTEMS CVS/CDS는 쉽게 프로그래밍할 수 있고 사용자 친화적인 회로 제작 방법을 제공합니다. 안정적이고 일관된 저항 코팅 장비로, 빠른 생산 속도, 고해상도, 뛰어난 포토 마스크 정렬 정확도를 제공합니다. 이 시스템은 또한 비용 효율적이며, 최소한의 운영자 교육 및 유지 보수가 필요합니다.
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