판매용 중고 LEYBOLD OPTICS Syrus TC III #9394826

LEYBOLD OPTICS Syrus TC III는 고급 통합 회로 생산에 사용되는 최첨단 포토 esist 장비입니다. "마스크 '를" 웨이퍼' 위 로 광학 투영 하여 얇은 "포토레지스트 '층 을 만든다. 그런 다음, 이 층 은 "에칭 '과 같은 화학 처리 중 에" 웨이퍼' 표면 을 보호 하는 데 사용 된다. Syrus TC III는 매우 정확하여 0.25 äm까지 해상도를 허용합니다. 가변 NA 0.5-0.7 가변 기판과 더 큰 마스크의 투영을위한 154mm 이미지 서클이 특징입니다. 이 장치에는 빠른 노출을위한 633 nm 레이저, 투영 수차를 제거하기위한 이분법 적 거울 (dichromatic mirror) 이 장착되어 있습니다. 270nm 수직 조명은 최대 3.8mWatts/cm2의 조명 강도를 봅니다. 전체 머신은 유연성과 자동화를 핵심으로 설계되었습니다. 예를 들어, 이 도구는 원형 (circular), 사각형 (rectangular) 또는 사각형 (square) 과 같은 다양한 웨이퍼 모양과 두께와 호환됩니다. 또한 고급 프로세스 제어 자산 (Advanced Process Control Asset) 을 통해 여러 계층에서 최고의 반복성과 프로세스 일관성을 보장하는 자동 레시피를 제공합니다. 또한 마스크 로딩 시간과 비용을 줄이는 다중 영역 (multiple-zone) 중복 노출이 특징입니다. LEYBOLD OPTICS Syrus TC III는 사용 가능한 가장 고급 포토 esist 시스템 중 하나입니다. 향상된 폐기물 관리 및 비용 효율성을 제공하면서 생산속도 및 정밀도를 높입니다 (영문). 따라서 사진에 민감한 물질을 대량으로 처리할 수 있습니다.