판매용 중고 LEYBOLD OPTICS MCS #9386355

LEYBOLD OPTICS MCS는 다양한 microelectronic 및 nanoscale photolithographic 제작 프로세스를 위해 LEYBOLD OPTICS에서 개발 한 포괄적 인 포토 esist 장비입니다. 이 시스템에는 최소 해상도 0.5 초의 고해상도 마스크 정렬기 (high resolution mask aligner) 와 마스크 제작 중 왜곡을 최소화하도록 설계된 독점 재료로 구성된 마스킹 장치 (masking unit) 가 포함되어 있습니다. MCS는 복잡한 고밀도 포토 esist 구조를 제작하기위한 비용 효율적인 솔루션입니다. 이 기계는 독점적 인 고주파 UV 광원을 사용하며, 파장의 방사선이 350 ~ 450 nm, 나노 스케일 영상을 가능하게하는 고정밀 얇은 유리 기판을 가진 반사판 (reflectance plate) 을 생성합니다. LEYBOLD OPTICS MCS 도구는 고급 소프트웨어 제어 에셋을 갖추고 있으며, 이미지의 노출 용량, 모양, 크기, 시간 등 다양한 사용자 정의가 가능합니다. 또한, 모델의 핵심 구성 요소로서, MCS micro-MSC 리소그래피 장비는 리소그래피 공정의 완전한 정밀 제어를 제공합니다. 높은 프레임 속도 전자 빔 (High Frame Rate Electron Beam) 을 사용하여이 프로세스는 0.1äm의 높은 해상도를 달성 할 수 있으며, 정확도가 높은 최고의 구조를 생산하는 데 이상적입니다. 또한, 이 시스템에는 고가용성 습식 처리 장치 (High affinity Wet Processing Unit) 가 장착되어 있어 선과 모서리 정의 문제 없이 리소그래피 프로세스를 완료 할 수 있습니다. 또한 LEYBOLD OPTICS MCS는 고급 열 처리 기능을 사용하여 결함 및 오염 제어 수준을 향상시킵니다. 이 기계는 전력 소비량이 적고, 단가 당 가격이 상대적으로 저렴하여 일관된 고품질 열 처리를 제공하도록 설계되었습니다. 또한, MCS micro-MSC 리소그래피 도구에는 고정밀 극저온 진공 처리를 가능하게하는 최첨단 진공 챔버가 추가로 장착되어 있습니다. 저진공환경 (low vacuum environment) 에서 저항성 (resist) 의 물질적 특성이 극적으로 변경되어 현저히 개선되고 일관된 결과를 얻을 수 있다. 요약하면, LEYBOLD OPTICS MCS는 높은 해상도, 낮은 결함 속도 및 뛰어난 정확도를 제공하는 포괄적 인 사진 자료 자산입니다. 고주파 UV 광원 (light source), 고해상도 마이크로 마스크 정렬기 (micro-mask aligner), 정밀 열 공정 (thermal process) 과 같은 고급 도구를 사용하여이 모델은 매우 작은 크기의 컴포넌트를 매우 정밀하게 선택적으로 구성 할 수 있습니다. 이 장비는 차세대 집적 회로 (integrated circuit) 를 더욱 정확한 수준으로 생산할 수 있도록 설계되었습니다.