판매용 중고 LEYBOLD OPTICS MCS 480 #9394822

LEYBOLD OPTICS MCS 480은 광전자가 자외선에 빠르게 노출되도록 설계된 포토 esist 장비입니다. 시스템은 램프 소스 모듈 (lamp source module) 과 포토 저항 처리 모듈 (photo resist processing module) 의 두 가지 주요 컴포넌트로 구성됩니다. 램프 소스 모듈은 4 개의 300 와트 수은 증기 쇼트 아크 램프 (short-arc lamps) 로 구성되며, 각각 개별 광학 필터를 사용하여 자외선의 적절한 강도와 파장을 보장합니다. 램프는 조절 가능한 챔버 (chamber) 가있는 수냉식 석영 반사 (water-cooled quartz reflector) 로 둘러싸여 있으며, 이를 통해 감광 물질의 가열과 냉각 시간을 줄일 수 있습니다. 인클로저 (enclosure) 는 기판에서 포토 esist에 균일 한 노출을 제공하기 위해 각도 사이에서 회전하도록 프로그래밍 될 수있다. 포토레스 처리 모듈 (photoresist processing module) 은 노출 중 환경을 정확하게 제어하기 위해 균일 한 대기를 제공하도록 설계된 챔버로 구성됩니다. "챔버 '에는 온도 와 습도 를 조절 하는 송풍기 장치 가 들어 있으며" 램프' 소스 모듈 의 4 개 의 등불 에 연결 되어 있다. 챔버에는 기판에 도달하는 자외선 (UV light) 의 양을 제어하는 조정 가능한 셔터가 있습니다. MCS 480은 최대 400nm/s의 노출 율로 최대 25 "직경 및 0.5" 두께의 기판을 처리 할 수 있습니다. 사용자가 자외선 (UV light) 의 강도, 파장, 노출 및 냉각 프로세스의 타이밍을 정확하게 제어할 수있는 PLC 인터페이스가 특징입니다. 또한 최대 200 개의 개별 노출 레시피를 저장하여 빠르고 쉽게 설치할 수 있는 통합 프로세스 컨트롤러 (Integrated Process Controller) 를 갖추고 있습니다. LEYBOLD OPTICS MCS 480은 비용 효율적인 고성능 포토레지스트 머신 (photoresist machine) 으로, 오늘날의 정확한 사진 해설에서 필요한 빠르고, 반복 가능하며, 정확한 노출을 제공합니다. 이 도구는 마스크 제작, 직접 쓰기 리소그래피, 반도체 웨이퍼, 광전자 장치, 인쇄 회로 기판 (printed circuit board) 의 생산을위한 직접 이미징과 같은 응용 분야에 이상적입니다.