판매용 중고 LEYBOLD OPTICS GMBH CCS Pro #9329086

LEYBOLD OPTICS GMBH CCS Pro는 고해상도 응용 프로그램을 처리하기위한 포토 esist 장비입니다. MEMS (microelectromechanical system) 및 NEMS (nanoelectromechanical system) 와 같은 마이크로 장치의 제작을 위해 개발되었습니다. CCS Pro 시스템은 고해상도의 고정밀 박막 (Thin Film) 을 제작할 수있는 고급 석판 기술을 제공합니다. 이 장치는 자외선 (UV, Holmium: Yttrium Aluminum Garnet) 레이저 복사를 사용하여 크기가 몇 나노 미터인 구조를 만들기 위해 저항에 고도로 집중된 이미지를 노출시킵니다. LEYBOLD OPTICS GMBH CCS Pro 장치에는 자체 정렬 무대와 쿼츠 레드 레이저 (quartz red laser) 가 장착되어 비접촉 방식으로 노출을 수행하여 저항 필름의 불안정화를 보장합니다. CCS Pro 기계에는 사용자 친화적 인 인터페이스를 통해 쉽게 조정할 수있는 몇 가지 제어 기능이 있습니다. 여기에는 용량 제어 및 용량 속도 측정, 스테이지의 평면 내 이동 및 패턴 정렬 기능이 포함됩니다. "머신 '은 또한 조정 가능 한 길이 의" 필드 스톱' 을 갖추고 있어서, 노출 을 지정된 폭 으로 제한 하여 처리 된 "패턴 '의 해상도 를 더욱 향상 시킨다. LEYBOLD OPTICS GMBH CCS Pro는 또한 가변 반복 노출 및 레이저의 자동 초점이 가능하여 정확하고 반복 가능한 결과를 확인할 수 있습니다. 이 장치에는 잠재적 인 레이저 위험으로부터 운영자를 보호하기 위해 안전 조치가 내장되어 있습니다. "반사 방지 (anti-reflection) 배기 (exhaust) 도구 '를 탑재해 저항의 온도를 유지하고 장치의 작업 환경을 보존하기 위해 공정 과정에서 발생하는 모든 열을 소멸시킨다. 또한, 자산은 레이저 강도를 모니터링 및 조절하기 위해 레이저 제어 모델에 연결됩니다. 깨끗하고 균일 한 결과를 얻기 위해 CCS Pro 장비에는 웨이퍼 클리닝 스테이션 (wafer cleaning station) 과 스핀 코팅 스테이션 (spin-coating station) 이 내장되어 있어 장치 표면을 쉽고 효율적으로 준비할 수 있습니다. 또한, 건식 에칭 시스템과 함께 사용하기 위해 기계를 추가로 수정할 수 있습니다. 전반적으로 LEYBOLD OPTICS GMBH CCS Pro는 고해상도 마이크로 및 나노 장치 제작을위한 포괄적 인 솔루션을 제공합니다. 다채로운 목표 요구 사항을 충족할 수 있는 유연성이 뛰어나며, 사용자를 보호하기 위한 효과적인 안전 (Safety) 조치를 취하고 있습니다.