판매용 중고 LEYBOLD HERAEUS TCO #9259572

LEYBOLD HERAEUS TCO는 반도체 생산에서 리소그래피 프로세스를 최적화하도록 설계된 포토 esist 시스템입니다. 광저항원 (photoresist) 은 빛에 노출되면 화학적으로 변하고, 리소그래피 (lithography) 를 반도체 표면에 전달하는 데 필요한 패턴으로 에칭되는 폴리머 물질이다. TCO는 Positive 및 Negative Tone 개발자, 개발자 추가 Ti-SAA 및 개발자 안정기를 모두 통합하여 최고의 프로세스 성능을 보장합니다. LEYBOLD HERAEUS TCO-PT로 알려진 포지티브 톤 (Positive Tone) 개발자는 높은 해상도와 깨끗한 패턴화 결과를 제공하는 반면, 일관된 전체 에치 성능과 강력한 공정 위도를 제공합니다. 특정 고객 요구 사항에 맞게 높은 점도 및 낮은 점도 공식으로 제공됩니다 (영문). 또한, 빠른 안정화 동작은 용해 된 재료를 구축하고 최적의 성능을 보장합니다. TCO-NT로 알려진 Negative Tone 개발자는 Positive Tone 개발자보다 빠른 속도로 개발하도록 설계되었습니다. 이는 높은 처리량 프로세스에 더 적합하며, 또한 고해상도 리소그래피 (lithography) 를 생성할 수 있습니다. 또한, Ti-SAA 첨가제는 개선 된 사이드 월 및 적은 코너 라운딩을 가능하게합니다. 또한 웨이퍼 (wafer) 표면의 언더컷 양을 줄일 수 있으며, 이는 더 깨끗한 패턴화와 더 큰 수율을 초래합니다. 마지막으로, 현상기 안정제 (stabiliser stabiliser) 는 스핀 속력으로 인한 폴리머 중단 가능성을 줄이고 일관된 저항 스트리핑 속도를 유지하는 데 도움이됩니다. 이 기능들은 LEYBOLD HERAEUS TCO의 다른 뛰어난 장점 (예: 탁월한 선반 수명 및 손쉽게 처리) 과 결합하여 반도체 생산에서 현대 사진주의 리소그래피 프로세스를위한 완벽한 선택입니다. TCO (총 소유 비용) 를 동급 최고의 시스템 중 하나로 끌어올릴 수 있습니다.