판매용 중고 LEYBOLD HERAEUS SYRUSpro 1510 #293814636
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ID: 293814636
빈티지: 2004
Coater
LEYBOLD TP 250 Pump
RUVAC WAU2001H Pump
LEYBOLD TransPocket 250
BROOKS AUTOMATION / POLYCOLD PFC‑1100‑HC Cryogenic refrigeration unit
2004 vintage.
LEYBOLD HERAEUS 1504는 고급 석판 기술을 위해 특별히 설계된 완전 자동화 된 포토 esist 장비입니다. X-ray 리토그래피 (X-ray lithography) 의 힘을 활용하여 탁월한 해상도와 정확도를 가진 피쳐를 생산할 수 있습니다. 포토리스 (photoresist) 와 온도 조절 (temperature-controlled) 환경 자동 분배를위한 통합 시스템을 갖춘 1504는 집적회로, 미세 구조, 광통신 요소 등 다양한 응용프로그램에 대한 포토리스트를 생산하는 데 이상적입니다. 이 장치에는 3 단계의 포토 esist 프로세싱이 장착되어 있습니다. 제 1 단계에서, 포토 esist는 로봇 팔을 사용하여 자동으로 분배된다. 그 뒤에 노출 단계 (exposure stage) 가 뒤 따릅니다. 여기서 x- 선 소스는 광전자를 제어 된 강도 및 방향의 방사선에 노출시키는 데 사용됩니다. 마지막으로, photoresist는 원하는 속성을 얻기 위해 온도 조절 환경에서 처리됩니다. 현대의 자동화 (automation) 와 온도 조절 (temperature control) 의 조합으로 기능적, 구조적 정확도가 높은 광저항을 만들 수 있습니다. LEYBOLD HERAEUS 1504는 자동 포토 esist 생산 프로세스 외에도 고급 분석 및 측정 도구도 통합합니다. 내장형 고해상도 스캔 현미경은 포토레시스트 (photoresist) 의 방전 (discharged) 패턴을 자세히 분석할 수 있는데, 이는 생산 과정 초기에 문제를 식별하는 데 유용합니다. 또한 시스템 관리 소프트웨어는 사용자 친화적 (user-friendly) 인터페이스를 통해 운영 프로세스의 모든 stasis 를 모니터링할 수 있으며, 사용된 자원 및 수율에 대한 정보를 제공합니다. 마지막으로, 1504 에는 다른 운영 시스템과 통합할 수 있는 고급 네트워킹 솔루션이 포함되어 있습니다. 이 도구는 자체 구성 가능하며 기존 photoresist 프로덕션 환경에 적용 할 수 있습니다. 이를 통해 LEYBOLD HERAEUS 1504 및 기타 시스템 및 프로덕션 시스템 간의 효율적인 데이터 전송이 가능합니다. 전체적으로 1504는 포토 esist 생산에 이상적인 자산입니다. 고급 자동화, 온도 조절, 네트워킹 솔루션을 통해 모든 운영 환경에 귀중한 자산입니다.
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