판매용 중고 LEYBOLD HERAEUS Syrus 1105 #293819408

LEYBOLD HERAEUS SYRUS 1105는 반도체 칩, 광학 장치 등 소형 부품의 마이크로패터닝을 위해 설계된 디지털 포토 esist 장비입니다. 고급 제어 인터페이스 (Advanced Control Interface) 를 통해 최고의 디테일의 고해상도 패턴을 생성하기 위해 노출 매개변수를 정확하게 제어할 수 있습니다. 이 장치에는 최대 8 수준의 감도로 최대 8 인치 웨이퍼를 지원할 수있는 전동 웨이퍼 스테이지가 포함되어 있습니다. 스테이지는 XYZ 플랫폼 (XYZ Platform) 에 장착되며, 포토 esist를 원하는 패턴으로 노출시키기 위해 코팅 된 웨이퍼를 회전하도록 구성 할 수 있습니다. 온보드 터치 스크린을 사용하면 매개변수를 정확하게 입력할 수 있으며 X, Y 및 Z 축 설정, 노출 시간, 에너지 설정 및 UV 에너지 설정을 조정할 수 있습니다. SYRUS 1105는 정확한 노출 시간과 패턴 정밀도를 보장하기 위해 고급 이미징 기계를 사용합니다. 이 도구에는 최대 5 메가 픽셀 (Megapixel) 해상도의 통합 CCD 카메라가 있으며, 이는 패턴 영역의 웨이퍼 및 이미징을 정확하게 배치하는 데 사용할 수 있습니다. 카메라는 자동화된 세타 축 (theta-axis) 에 장착되어 회전하는 웨이퍼에 대한 이미징 에셋의 정밀한 각도 정렬이 가능합니다. 이 모델에는 코팅 된 웨이퍼에서 정확한 패턴 정렬을 보장하는 레이저 정렬 장비 (옵션) 도 포함되어 있습니다. 이 시스템은 웨이퍼 스테이지, 노출 시간, 에너지 설정 및 UV 에너지 설정을 제어하여 매우 자동화되었습니다. 내재 된 진공 장치 (vacuum unit) 는 노출 과정에서 웨이퍼를 안전하게 고정시키고 웨이퍼와 포토 esist 사이에 일관된 압력 접촉을 보장합니다. 마지막으로, 기계에는 인력과 장비를 보호하는 안전 도구가 장착되어 있습니다. 이 자산은 갑작스런 비상 사태 (emergency) 가 감지되면 노출 프로세스를 차단하도록 설계되었습니다. 전반적으로 LEYBOLD HERAEUS SYRUS 1105는 작은 구성 요소의 정밀 마이크로패터닝을 위해 설계된 고급 디지털 포토 esist 모델입니다. 이 장비는 노출 매개변수 (Exposure Parameter) 와 자동 웨이퍼 (Automated Wafer) 이동을 정확하게 제어할 수 있도록 하며, 최상의 디테일의 고해상도 패턴을 생산할 수 있습니다. 또한, 인원과 장비를 보호하기 위해 안전 시스템이 마련되어 있습니다.