판매용 중고 LEYBOLD HERAEUS ARES 1350 #9228483

LEYBOLD HERAEUS ARES 1350은 마이크로 일렉트로닉스 생산에 사용하도록 설계된 고급 고정밀 광도 건식 에치 장비입니다. 이 시스템은 고급 사진 촬영 (advanced photolithography) 을 포함한 고급 석판 공정의 독특한 조합을 사용하여 해상도 1 미크론까지 해상도의 웨이퍼에 엄청나게 작고 복잡한 패턴을 제작합니다. 이 장치는 고출력 레이저 조명을 포함하여 다양한 기능을 제공하며, 이는 자외선 (UV-Sensitive) 저항 재료를 효과적으로 처리 할 수 있습니다. 코팅 된 기판을 사용하여 직접 쓰기 패턴화에 기계를 사용할 수도 있습니다. 아레스 1350 (ARES 1350) 은 업계 최고의 성능을 제공하여 다른 포토 esist 드라이 에치 시스템에 비해 더 나은 결과와 높은 수익률을 제공합니다. 마이크로미터 (micro-meter) 수준으로의 정렬 정밀도를 극대화하는 고급 동적 정렬 도구 (dynamic alignment tool) 덕분에 정확한 에칭 프로세스를 제공하는 것이 안정적입니다. LEYBOLD HERAEUS ARES 1350 자산은 가공실과 레이저 챔버의 두 부분으로 구성됩니다. 레이저 챔버에는 고성능 레이저 소스 (Laser Source), 집중 출력 빔 (Output Beam) 및 효율적인 직접 쓰기 패턴화가 가능한 고급 기능이 장착되어 있습니다. 또한, 이 모델에는 더 정밀도, 더 나은 제어 및 향상된 프로세스 안정성을 위해 강력한 자동 전자 빔 미세 해상도 제어 장비 (FEB-FERES) 가 장착되어 있습니다. 또한, ARES 1350 시스템은 조절 가능한 압력 제어 (pressure control) 및 온도 조절 (temperature control) 을 통해 더 많은 유연성과 포토리스 에칭 프로세스를 더 잘 제어 할 수 있습니다. 이 장치는 또한 고성능 공기 여과 장치 (Air Filtration Machine) 로 설계되어 더 나은 작업 성능 및 청소 실 작동을 보장합니다. LEYBOLD HERAEUS ARES 1350은 뛰어난 성능을 제공하며 마이크로 일렉트로닉스 생산에 가장 높은 수율을 제공합니다. 고정밀도, 견고한 컨트롤, 고성능 레이저 조명을 통해 ARES 1350은 신뢰할 수 있는 포토리스 (photoresist) 에칭 프로세스를 제공하여 생산 시간 단축, 수율 향상, 비용 절감 효과를 제공합니다.