판매용 중고 LEYBOLD HERAEUS ARES 1100 #9054497

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ID: 9054497
Pump Rotary / Roots / Diffusion Meissner and Polycold Mark II Ion source Single e-gun with 8-hearth crucible Quartz crystal monitoring Segmented dome substrate carrier.
LEYBOLD HERAEUS ARES 1100은 포토 esist 프로세싱과 같은 제조 프로세스에 사용되는 고정밀 마이크로 머시닝 장비입니다. 이 장비는 정확한 과잉 코팅 프로세스뿐만 아니라 고정밀 에칭 및 증착 기능을 제공합니다. ARES 1100 시스템은 광전 제어 장치 (photoelectrical control unit) 를 사용하며 다양한 기판을 에치하고 코팅 할 수 있습니다. 최대 4.7 인치, 측면 길이 최대 20 마일 크기의 기판을 처리 할 수 있습니다. 이 기계에는 통합 자동 웨이퍼 처리 도구 (automated wafer handling tool) 가 제공되며 닫힌 루프 포토 마스크 평가 자산도 있습니다. LEYBOLD HERAEUS ARES 1100은 회사의 독특한 광학 강화 진흙 증기 (OMVD) 공정을 사용하여 재료를 에치 및 코팅합니다. 이것은 다양한 마이크로 (micro) 및 정밀 머시닝 (precision machining) 응용 프로그램에서 특수 박막 (thin film) 을 정확하게 증착 할 수있는 독특한 에칭 및 증착 기술입니다. 이 모델에는 정확하고 정확한 에칭 (etching) 및 코팅 (coating) 내성을 보장하는 고급 옵티컬 제어 장비가 장착되어 있습니다. 이 시스템은 또한 기판에서 복잡한 패턴을 에치 (etch) 하는 데 사용할 수있는 맞춤형 포토 마스크 디자인 (customized photomask design) 과 같은 다양한 기능을 제공합니다. 기판을 청소하고 에칭 (etching) 및 증착 과정에서 오염을 예방할 수 있는 공기 흐름 (air-flow) 옵션도 제공합니다. 또한 ARES 1100 장치는 에칭 및 증착 프로세스 (etching and deposition process) 동안 실시간 특성을 측정하여 처리 속도와 고품질 기계 성능을 향상시킵니다. 이 도구는 정밀 온도 제어 (precision temper control) 와 같은 기능으로 시간당 최대 30 개의 웨이퍼를 처리하도록 평가되었습니다. 결론적으로, LEYBOLD HERAEUS ARES 1100은 포토 esist 처리 및 기타 에칭 및 코팅 응용 분야에 사용되는 고급 정밀 머시닝 자산입니다. 이 모델은 자동 웨이퍼 처리뿐만 아니라 매우 정확한 과잉 코팅, 예금 및 에칭 기능을 제공합니다. 이 장비는 에칭 (etching) 및 증착 과정에서 실시간 특성을 측정하여 처리 속도 향상 (turnaround) 과 고품질 (high-quality) 결과를 높일 수 있습니다.
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