판매용 중고 LEYBOLD HERAEUS A1100Q #9385587
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LEYBOLD HERAEUS A1100Q는 스퍼터 코팅, 금속 화, 증기 증착과 같은 매우 높은 진공 공정을 위해 설계된 증발기입니다. 이 제품은 최대 10-3 Torr의 저압 증기 증착 (LPVD) 을 위해 개발되었으며, 회전 증발 챔버와 통합 터보 펌프 장비로 구성됩니다. 로터리 챔버 (rotary chamber) 는 공정의 온도 안정성을 높이는 열 절연 물질로 둘러싸여 있습니다. 로터리 챔버 (rotary chamber) 는 재료의 균일 한 증착을 보장하여 다중 층 코팅에서 뛰어난 반복성을 제공합니다. 높은 열 전도성 냉각 시스템 (How Conductive Cooling System) 은 챔버 전체에서 실행되므로 프로세스 온도가 일관되게 유지되고 증착에 신뢰할 수있는 환경을 제공합니다. 통합 터보 펌프 (turbo-pump) 장치는 2 개의 개별 터보 펌프로 구성되어 높은 펌핑 속도와 짧은 펌핑 다운 시간을 제공합니다. 기계 에는 압력 조절 장치 가 장착 되어 있어서, 약실 의 압력 을 정확 히 제어 할 수 있다. 이로 인해 오염이 방지되고 제품이 올바르게 보호됩니다. 약실 내부 의 회전 하는 원자력 "휠 '은 재료 를 미세 하고 균질 한 안개 로 바꾸어" 기판' 에 균일 한 증착 을 보장 한다. 이 제품에는 Lamba-UHV 소프트웨어를 갖춘 최첨단 제어 장치도 있습니다. 이 소프트웨어를 사용하여 사용자는 기화 온도, 대상 제품 특성, 증착률 (deposition rate) 과 같은 프로세스 매개변수를 제어할 수 있습니다. 방제 장치 에는 "디지털 '진공" 게이지' 와 "가스 '분석기 가 장착 되어 있어 공정 을 감시 하고 제어 하는 데 도움 이 된다. LEYBOLD HERAEUS A 1100Q는 매우 높은 진공 공정을 위해 설계되었습니다. 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 와 최첨단 제어 장치 (state-of-the-art control unit) 로 작동하기 쉽습니다. "터어보 '" 펌프' 자산 은 "챔버 '의 빠른 대피 를 제공 한다. 이를 통해 기화 온도 및 증착 속도를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 마지막으로, 디지털 진공 게이지 및 가스 분석기는 정확하고 안정적인 프로세스를 보장합니다.
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