판매용 중고 LEYBOLD HERAEUS 1100 #9094150
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LEYBOLD HERAEUS 1100은 폴리머 필름의 높은 정밀 이미징을 제공하도록 설계된 포토 esist 장비입니다. 나노 (Nano) 및 마이크로 리토 그래피 (Micro-lithography) 를위한 다재다능한 도구이며, 높은 해상도와 낮은 스트레이 라이트로 필름을 노출 할 수 있습니다. 이 시스템은 3 개의 수직 축에 장착 된 통합 광 장치 (optical unit) 로 구성되며, 이미징 렌즈 (imaging lens), 디지털 카메라 (digital camera) 및 기판의 전체 적용 범위를 위해 크고 평평한 필드 렌즈로 구성됩니다. 광학기계는 기판에 맞춰져 있으며 디지털 현미경 (digital microscope) 을 이용해 직접 영상을 제공한다. 1100은 매우 정확하고 반복 가능한 결과를 위해 설계되었습니다. 선형 인코더가 내장되어 있어 정확한 정렬, 재생성 가능한 이미지, 다양한 속도와 이미징 방향을 제공하는 500 MHz 디지털 웨이브가이드 (waveguide) 발진기가 내장되어 있습니다. 웨이브 가이드 (waveguide) 를 사용하면 도구와 결과 이미지에 대한 제어가 향상됩니다. 이 자산에는 해상도, 초점, 노출 시간 등 다양한 사용자 선택 가능 이미징 (imaging) 매개변수가 장착되어 있습니다. 소프트웨어는 필요에 따라 각 재료에 대해 이미징을 최적화하는 데 사용될 수 있습니다. 그 모델 은 또한, 매우 정확 한 기판 에 "패턴 '을 만들 수 있는 능력 을 가지고, 넓은 영역 을 자동 으로 노출 시킬 수 있다. LEYBOLD HERAEUS 1100은 교정 빈도가 낮고 유지 관리가 쉽습니다. 장비의 구성요소는 견고하고 신뢰할 수 있도록 설계되었으며, 산업용 (havy industrial use) 을 쉽게 견딜 수 있습니다. 이 시스템은 효율적인 작동을 위해 설계되었으며, 높은 수준의 자동화를 제공합니다. 또한 대부분의 플라즈마 기반 및 PECVD 프로세스와 호환됩니다. 전반적으로, 1100은 중합 필름의 정확한 이미지를 생산하기위한 이상적인 광저항 단위입니다. 이 제품은 정확성, 반복성, 신뢰성, 그리고 포괄적인 이미징 매개변수를 갖춘, 사용하기 쉬운 플랫폼을 제공합니다. 다양한 기능과 안정적인 성능을 갖춘 LEYBOLD HERAEUS 1100은 고밀도 이미징에 이상적인 선택입니다.
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