판매용 중고 LEYBOLD CCS Pro #293770878

ID: 293770878
빈티지: 2007
AR Coating chamber Thin film consumable HPE6 E-Gun MK1 Ion source Turbo pump Crystal head Small footprint chamber D65B Mechanical pump Turbomolecular high vacuum pump 2007 vintage.
LEYBOLD CCS Pro는 반도체 제조 및 기타 마이크로 일렉트로닉스 응용 분야의 기판을 코팅 및 개발하기 위해 설계된 고급의 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 최첨단 (State-of-the-art) 기술을 통합하여 고품질 반도체 장치 생산에 정확하고 안정적인 성능을 제공합니다. CCS 프로 (CCS Pro) 장치의 중심에는 혁신적인 코팅 및 개발 프로세스가 있으며, 이는 복잡한 패턴과 구조를 가진 반도체 장치의 제작에 중요합니다. 이 기계는 스핀 코터 (Spin Coater), 핫 플레이트 (Hot Plate) 및 개발자 모듈 (Developer Module) 을 포함한 다양한 고급 구성 요소를 갖추고 있습니다. LEYBOLD CCS Pro 도구의 주요 특징 중 하나는 스핀 코터 (spin coater) 로 반도체 기판에 포토 esist 물질을 적용하는 데 사용됩니다. 스핀 코터 (spin coater) 는 스핀 속도와 가속도를 정확하게 제어 할 수있는 고정밀 모터 (high-precision motor) 를 특징으로하며, 이를 통해 광전자가 기판 표면에 균등하게 분포되어 있습니다. 이 균일 한 코팅은 후속 리소그래피 단계에서 고해상도 패턴 및 구조를 달성하는 데 필수적입니다. 스핀 코터 외에도 CCS Pro 에셋에는 코팅 후 베이크 프로세스를위한 핫 플레이트도 포함되어 있습니다. 핫 플레이트 (hot plate) 는 코팅 된 기판을 특정 온도로 가열하는 데 사용되는데, 이는 용매를 구동시키고, 광물질 (photoresist) 의 기판에 대한 접착력을 향상시키는 데 도움이됩니다. 레이 볼드 (LEYBOLD) CCS 프로 (CCS Pro) 모델의 핫 플레이트에는 정확한 온도 조절 기능이 장착되어 있어 기판이 최적의 포토 esist 성능에 필요한 정확한 온도로 가열됩니다. 기판을 코팅하고 구운 후, 개발 과정을 위해 개발자 모듈 (developer module) 으로 전달됩니다. CCS 프로 (CCS Pro) 장비의 개발자 모듈은 화학 용액과 동요의 조합을 사용하여 기판에서 노출되지 않은 포토 리스트 (photoresist) 를 선택적으로 제거하여 리소그래피 마스크 (lithography mask) 에 의해 정의 된 기본 패턴을 드러냅니다. 개발자 모듈은 높은 처리량 (Throughput) 과 일관된 개발 결과를 제공하도록 설계되었으며, 견고한 공차 (Tolerance) 와 높은 해상도의 반도체 장치를 효율적으로 생산할 수 있습니다. LEYBOLD CCS Pro 시스템은 코팅 및 개발 프로세스를 능률화하기 위해 고급 자동화 및 제어 기능을 갖추고 있습니다. 이 장치에는 사용자 친화적 인 인터페이스 (User-Friendly Interface) 가 포함되어 있어 운영자가 프로세스 매개변수를 쉽게 설정하고 모니터링할 수 있으며, 사람의 오류의 위험을 줄이고 재현이 가능한 결과를 얻을 수 있습니다. 또한, 이 기계는 인라인 프로세스 모니터링을 위해 외부 도량형 툴과 통합되어 실시간 피드백 (feedback) 및 품질 제어가 가능합니다. 전반적으로 CCS 프로 (CCS Pro) 도구는 반도체 제조 및 기타 마이크로 일렉트로닉스 응용 분야에 이상적인 다재다능하고 신뢰할 수있는 포토 esist 자산입니다. 고급 코팅 및 개발 프로세스, 정확한 제어 기능, 사용자 친화적 인터페이스 (user-friendly interface) 를 갖춘 이 모델은 패턴 해상도 및 치수 정확도에 대한 요구 사항이 까다로운 고품질 반도체 장치 생산에 탁월한 성능과 효율성을 제공합니다.
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