판매용 중고 LEYBOLD CCS 250 #9236185

LEYBOLD CCS 250은 실리콘 웨이퍼 표면에 보호 된 인코딩 된 이미지와 패턴을 만드는 데 사용되는 최첨단 포토 esist 장비입니다. CCS 250은 최대 기판 크기 (250 mm) 에 대한 전체 범위를 제공하여 여러 웨이퍼에 걸쳐 크고 균일 한 패턴을 생산할 수 있습니다. 이 시스템에는 3 개의 프로세스 모듈, 개발자, 프리 베이크 및 포스트 베이크가 장착되어 있습니다. 개발자 모듈은 습식 (wet-process) 개발자이며, 깨끗하고 정확하게 패턴 된 표면을 남기기 위해 기판에서 포토 esist 잔기를 지속적으로 씻습니다. 프리 베이크 모듈 (prebake module) 은 열 처리를 사용하여 포토 esist 필름의 기질에 접착력을 증가시킵니다. 마지막으로, 포스트 베이크 모듈은 짧은 UV 활성화 단계를 사용하여 웨이퍼의 포토 esist 코팅을 치료합니다. LEYBOLD CCS 250 프로그래밍 인터페이스를 사용하면 패턴 너비, 해상도, 노출 시간, 사후 처리 (post-treatment) 등 운영 설정과 작동 모드를 쉽고 정확하게 프로그래밍할 수 있습니다. CCS 250의 고급 디자인은 독립적 인 고성능 Lambertian 에미터를 갖춘 4 중 접합 라이트 챔버를 갖추고 있습니다. 이를 통해 통신, 의료, 광학, 디스플레이, 마이크로 조립, 정밀 부품, 평면 패널 디스플레이 구성 요소에 이르기까지 포토레시스트 (photoresist) 처리에 필요한 광원을 정확하게 선택하고 제어할 수 있습니다. LEYBOLD CCS 250에는 자동 자체 진단, 포토 esist 처리 전반에 걸쳐 잔기 축적 측정, 프로세스 매개변수의 온라인 모니터링 등 고급 프로세스 제어 기능이 있습니다. 따라서 모든 실행에서 최적의 성능이 제공됩니다. CCS 250은 또한 액체 광저온 조절 장치 (liquid photoresist temperature control unit) 및 질소 플라즈마 커버리지 머신 (nitrogen plasma coverage machine) 을 포함하여 우수한 기판 보호를 제공합니다. 이렇게 하면 기판 서피스가 프로세스에서 손상되지 않습니다. 마지막으로 LEYBOLD CCS 250은 고객의 요구 사항을 충족할 수 있는 탁월한 프로세스 안정성, 생산성 및 유연성을 제공합니다. 이 기계는 확장 가능한 설계를 통해 추가할 수 있는 수많은 옵션 구성 요소 (예: 색상 패턴 인식, 메모리 스캔 등) 를 제공합니다. 요약하자면, CCS 250 포토레시스트 (photoresist) 도구는 실리콘 웨이퍼 표면에 보호 된 인코딩 된 이미지와 패턴을 만드는 고급 최첨단 플랫폼입니다. 탁월한 기판 보호 기능, 향상된 프로세스 안정성, 탁월한 유연성을 제공하여 고객의 요구 사항과 애플리케이션을 충족합니다.