판매용 중고 LEYBOLD CCS 250 #9156339
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판매
ID: 9156339
빈티지: 1998
Coater
Polycold PFC 550HC
HSV-6 e-gun
Atlas clean air laminar flow cabinet
Vacuum system configuration:
D65B Rotary vane pump
LEYBOLD 1100C turbo molecular pump
POLYCOLD PFC 550-HC
Evaporation sources:
(6) Electron beam evaporator
Commonwealth scientific corporation mark I ion source
Control system: Industrial PLC based operating system
CHC60:
(13) Station cleaning line
Hard coating
Allen bradley panel view 1000 CNC control
(2) Resin curing ovens
Electrical supply: 400 / 415V, 50/60HZ, 3tp & neutral (20A)
Total power rating: 8.3kW
Normal running: 4.5kW
Air supply: 6mm Plastic pipe at 4 bar
Water supply: 15mm / 1/2 BSP Female (speed-fit) connection
Drain:
Foul sewer:
One 22mm / 3/4 BSP Female (speed-fit)
One 15mm / 1/2 BSP Female (speed-fit)
Connections:
Water & chemical
De-ionised water
Fume extraction: Φ150mm, 150cfm
1998 vintage.
LEYBOLD CCS 250 Photoresist Equipment (Photoresist Equipment) 는 기존의 수동 습식 처리 기술에 비해 비용 절감 및 처리 효율성을 향상시키는 통합 기능의 어레이를 갖춘 프로덕션 규모의 자동 포토레스트 머신입니다. 이 시스템은 광학, 통신, 이미징 및 기타 응용 프로그램을위한 리소그래피 기반 포토 마스크 생산을 위해 설계되었습니다. 이 기계는 정확성과 반복성을 위한 고정밀 광학 단계 (high-precision optical stage) 와 노동 및 생산 시간을 절약하기 위한 다양한 업계 표준 기능을 갖추고 있습니다. 이 장치에는 직관적인 사용자 컨트롤러 (user controller) 가 있어 단일 지점에서 다양한 기능에 편리하고 쉽게 액세스할 수 있습니다. 컨트롤러는 프로그래밍을 단순화하고 간단한 메뉴 구조를 통해 운영 모드 (Operating Mode), 노출 시간 (Exposure Time) 및 기타 시스템 특정 기능을 손쉽게 선택하고 제어할 수 있습니다. 또한, 고급 자동화를 통해 주기 시간을 최소화하며, 일련의 가청/시각적 경보로 운영자 편의성을 향상시킵니다. CCS 250에는 이미지 처리 단계와 처리 단계를 동시에 제어할 수 있는 자동 (automation) 툴이 내장되어 있습니다. 시스템의 자동화는 프로세스 일관성 향상, 작업 설정 촉진, 출력 극대화를 위해 설계되었습니다. 이 자산 에는 또한 화학적 사용 을 조절 하기 위한 여러 가지 기능 이 포함 되어 있는데, 이 "에너지 '는 주어진 직업 에 필요 한 양 의 화학 물질 만 사용 하여 비용 절감, 낭비 감소 를 초래 한다. 또한, 최대 32 개의 레시피를 저장할 수 있으므로, 여러 유형의 작업에 대해 특정 프로세스 설정을 신속하게 회수할 수 있습니다. 이 기계에는 사람과 환경을 보호하기 위해 설계된 수많은 안전 지향 (Safety-oriented) 기능이 있습니다. 예를 들어, 오염 된 마스크 검역 기능은 안전 위험을 줄이고 PCB 또는 유기 화합물 오염의 가능성을 최소화하도록 설계되었습니다. 다른 내장 안전 기능에는 조명이 10 초 이상 중단되면 자동 리셋 (자동 리셋) 이 포함되며, 새로운 포토 마스크 (photomask) 가 동시에 켜지지 않도록 보장하고, 예기치 않은 소스 오버라이드 또는 화학 물질 유출시 조명을 비활성화하여 필름 손상을 방지하는 화학 셧다운 (chemical shutdown) 기능이 포함됩니다. LEYBOLD CCS 250은 성능 중심 디자인과 최신 자동화 기술을 결합한 최첨단 포토리스 (photoresist) 모델입니다. 이 장비는 신속한 프로세스 실행, 정확한 결과를 제공하므로 운영 규모 운영에 완벽한 선택이 가능합니다. 이 시스템은 일상적인 작업을 자동화함으로써 수작업 (manual labor) 의 필요성을 줄이고, 운영 속도를 높이고, 비용 및 시간 절감을 강화합니다.
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