판매용 중고 LEYBOLD APS 904 #9240499

레이볼드 APS 904 (LEYBOLD APS 904) 는 리소그래피 및 장치 제작을 위해 감광 물질을 기판에 노출시키도록 설계된 포토 esist 장비입니다. 크롬, 이리듐 또는 니켈 기반 저항 공정을 사용하여 서브 미크론 해상도 기능, 높은 정확도, 깨끗한 가장자리 프로파일을 제공합니다. APS 904는 리소그래피 응용 프로그램에 디지털 이미징 기술을 사용하는 최첨단 시스템입니다. 이 단위는 0.3hm만큼 작은 기판의 이미지를 각인 할 수 있습니다. 이 해상도를 달성하기 위해 기계는 광학 소스 (optical source) 를 사용하여 빔 스플리터 (beam splitter) 를 통과하고 다중 레벨 광학 투영 도구 (multilevel optical projection tool) 를 사용하여 수직 출력 빔을 유지합니다. 이미징 (Imaging) 은 빔을 디지털로 초점을 맞춘 다음 컴퓨터 제어 렌즈 및 미러 플레이트를 통과함으로써 달성됩니다. 이들은 기판에 투영 된 개체의 가상 이미지를 형성하도록 배열됩니다. LEYBOLD APS 904는 이중 인라인 포토 esist 자산을 갖추고 있습니다. 이 모델은 "배경" 노출 수준을 효과적으로 줄이기 위해 1.45 이상의 광학 밀도를 가진 특수 초 저 흡광도 유리를 사용합니다. 장비는 0.1 초 단위로 0.5 초에서 1 초로 조정 할 수있는 가변 반복 속도를 갖습니다. 이를 통해 정확한 리소그래피 인쇄가 가능해지고 처리량이 증가합니다. 또한 APS 904에는 공기 입자 검출을위한 반자동 시스템이 있습니다. 이 장치 는 인위적 "라이트 '를 사용 하여, 그 크기 와 위치 에 대하여 공기 중 에 정지 된 입자 들 을 진단 할 수 있다. 과도 한 공기 의 입자 가 검출 된다면, 그 기계 를 "포토레지스트 '도구 를 정지 시키도록" 프로그램' 할 수 있으며, 따라서 리소그래피 공정 의 안전 을 증가 시킬 수 있다. LEYBOLD APS 904에는 코팅 및 접착을 제어하기 위해 듀얼 스테이지, 저진공 자산이 장착되어 있습니다. 이중 단계 진공 모델은 황삭 펌프 (roughing pump) 와 서열로 작동하는 분자 펌프 (molecular pump) 로 구성됩니다. 이것 은 갇혀있는 "가스 '를 효율적 으로 제거 하여 현저 하게 깨끗 한 진공 환경 을 조성 한다. 전반적으로, APS 904는 안전하고 효율적인 방법으로 고해상도 이미지를 생성 할 수있는 안정적이고 정확한 포토리스 (photoresist) 장비입니다. 기술력과 독보적인 기능을 혁신적으로 활용함으로써 각기 다른 석판화 (lithography) 애플리케이션에 쉽게 적응할 수 있습니다.