판매용 중고 LEYBOLD APS 1104 #9394890
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LEYBOLD APS 1104는 고급 기술 장치 생산에 사용되는 고성능 포토 esist 장비입니다. 뛰어난 포토 esist 성능과 정밀 처리를 위해 설계되었습니다. APS 1104는 개선 된 서브 미크론 해상도, 확장 된 운영 범위 및 오염 감소를 특징으로합니다. 시스템은 정확한 광선을 사용하여 미리 정의된 패턴을 기판에 적용합니다. 무늬 "빔 '은" 레이저' 원 에 의하여 생성 되며 감광 저항성 물질 을 함유 한 세포 에 투사 된다. 빛 에 노출 되면, "레지스트 '물질 의 성질 을 수정 하는 화학 반응 이 일어난다. 이러한 속성 변경을 통해 원하는 패턴을 기판으로 전송할 수 있습니다. LEYBOLD APS 1104에는 패턴 마스크 설정, 자동 패턴 지정, 정확한 이미지 제어가 가능한 다기능 컨트롤러가 장착되어 있습니다. 또한 컨트롤러에는 각 작업마다 최적의 작동을 위해 레이저 전원 조절 (Raser Power Control) 기능이 있습니다. 뿐 만 아니라, 이 장치 는 "마스크 '와 기판 의 인터페이스 에 있는 입자 를 감소 시킴 으로써" 셔터' 물개 를 조임 으로써 오염 을 최소화 하도록 설계 되었다. 또한, 기계의 확장 된 동적 동작 범위 (dynamic range of operation) 는 다양한 패턴 크기와 모양을 처리 할 수 있습니다. 또한 매우 균일 한 해상도를 제공하여 더 정확한 처리로 이어집니다. 이러한 향상된 성능은 컨트롤러의 자동 패턴화 제어 (patterning control) 와 결합된 고급 광선 (light beam) 광학 덕분입니다. 전반적으로 APS 1104는 뛰어난 성능과 정밀도를 자랑하는 고급 포토 esist 도구입니다. 통합 레이저 광학, 자동 패턴 제어 및 단단한 셔터 밀봉은 안정적이고 반복 가능한 결과를 보장합니다. 확장 된 동적 동작 범위 (dynamic range of operation) 를 통해 정확도가 높은 다양한 패턴과 모양을 생산할 수 있습니다. 따라서, 세밀한 장치와 차세대 기술 제품의 빠르고 안정적인 생산에 이상적입니다.
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