판매용 중고 LEYBOLD APS 1104 #9308995
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ID: 9308995
Evaporator
High Voltage Power Source (HVPS)
(2) OMS3000 Insitu-photometer optical monitering systems
POLYCOLD PFC-1101
DIP 12000 LEYCOM Diffusion pump
D65B-WS501 Pump
Q-Sensor crystal controller
(2) EB Guns ESV14
APS-SF Source
Vacuum chamber
Power supply cabinet
(2) Cabinets
(2) IO Cabinets.
LEYBOLD APS 1104는 유리 기판, 실리콘 웨이퍼, 유기 폴리머 필름과 같은 포토 esist 및 기판과 함께 사용하도록 설계된 포토 esist 장비입니다. 집적 회로, 평면 패널 디스플레이, 광전자 장치 제작에 이상적입니다. APS 1104는 원하는 기판에 제어 된 photoresist 층의 증착을 가능하게한다. 그것은 정확하고 균일 한 저항 범위를 보장하기 위해 다단계 저항 제팅 기술을 사용합니다. 저항 제팅 시스템은 원하는 레이어 두께에 따라 쉽게 조정됩니다. 또한, 이 장치는 조절 가능한 노즐 크기를 특징으로하여 사용자가 저항 (resist) 유량을 제어하여 원하는 증착을 달성 할 수 있습니다. 또한, 이 장치에는 저항 유속 및 패턴화를 자동화하는 통합 머신이 포함되어 있습니다. LEYBOLD APS 1104 는 지능적이고 직관적인 하드웨어/소프트웨어 인터페이스도 제공하며, 이를 통해 사용자는 이 툴을 해상도, 노출 시간, 패턴 크기 등의 매개변수로 프로그래밍할 수 있습니다. 따라서 자산이 적응성이 높고 사용이 간편합니다. APS 1104는 기본 장치, 저항 소스, 저항 스프레이 헤드, 전원 및 소프트웨어 모듈로 구성됩니다. 기본 장치에는 저항 분배 메커니즘, 스프레이 헤드, 전원 공급 장치, 소프트웨어 모듈 등의 주요 작동 메커니즘이 있습니다. 저항 소스 (resist source) 에는 저항이 포함되어 있으며 균일하고 정확한 레이어 두께를 처리 할 수 있도록 설계되었습니다. 저항 스프레이 헤드 (resist spray head) 는 미리 프로그래밍된 양의 저항을 지정된 기판에 정확하게 전달하도록 설계되었습니다. 전원 공급 장치는 모델의 작동에 필요한 전원을 공급하는 데 사용됩니다. 마지막으로, 소프트웨어 모듈은 장비의 매개변수를 정의하는 미리 정의된 설정을 만드는 데 사용됩니다. 전반적으로, LEYBOLD APS 1104는 다양한 유형의 기질에서 포토 esist 증착을위한 이상적인 시스템입니다. 정확하고 균일 한 저항을 제공하도록 설계되었으며, 소프트웨어 모듈은 쉽게 프로그래밍 할 수 있습니다.
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