판매용 중고 LEYBOLD APS 1104 #9287235

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ID: 9287235
Coating machine (2) Guns Copious cooling Crystal control Ion source.
LEYBOLD APS 1104는 고급 회로 기판 (Advanced Circuit Board) 과 마이크로시스템 (Microsystem) 을 생산하기 위해 안정적이고 비용 효율적인 결과를 제공하도록 설계된 고정밀도 포토레지스트 장비입니다. 이 제품은 효율적인 포토리스 (photoresist) 코팅 프로세스, 정밀 노출, 효율적인 베이킹 및 개발을 포함한 고급 시스템 아키텍처를 갖추고 있습니다. APS 1104는 4축 로봇과 미세 분배 펌프 (micro-dispense pump) 의 조합을 사용하여 기판에 포토 esist 및 스핀 코팅을 적용합니다. 이 정밀도는 정확하고 반복 가능한 필름 균일성과 두께를 단지 +/- 5% 의 허용 한도로 유지하는 데 도움이됩니다. 시스템의 자동 및 수동 작동이 모두 가능합니다. 노출되고 개발 된 포토 esist는 pico-stripping, water-stripping 및 plasma etching 기술의 조합을 통해 정확하게 제거 할 수 있습니다. 이 도구에는 진공 척 증착 도구가 포함되어 있으며, 후처리, 기판 모양, 필름 분리 및 노치 에칭이 가능하여 복잡한 서브 미크론 구조가 생성됩니다. 레이 볼드 APS 1104 (LEYBOLD APS 1104) 는 유리, 플라스틱 및 다양한 합금과 같은 다양한 재료로 구성된 단단하고 유연한 기판을 패턴화하는 데 사용될 수 있습니다. 또한, 최소 선 너비가 0.7um 인 미세 한 구조를 패턴 화 할 수 있습니다. 유지 보수 비용을 최소화하기 위해, APS 1104 는 사용자 친화적이고 직관적인 소프트웨어로 설계되었습니다. 고급 멀티 채널 펄스 소스 및 센서는 최고 수준의 결과와 낮은 노출 용량을 보장합니다. 모듈식 설계를 통해 사용자 지정 구성에서 특정 사용자 요구 사항을 충족할 수 있으며, 명확한 챔버 (chamber) 설계를 통해 일관되고 안정적인 결과를 얻을 수 있습니다. 전반적으로 LEYBOLD APS 1104는 고급 회로 기판 및 마이크로시스템을 위한 안정적이고 경제적인 개발 및 프로토타입 솔루션을 제공합니다.
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