판매용 중고 LEYBOLD APS 1104 #9203831
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ID: 9203831
빈티지: 2000
Evaporator
OMS 3000
(2) E-guns
Materials deposited: TiO, NbO, SiO2
Head quartz: 2 x 6
2000 vintage.
LEYBOLD APS 1104 Photoresist Equipment는 독일 산업 장비 제조업체 인 LEYBOLD Optics GmbH가 개발 한 현대 컴퓨터 제어 습식 에칭 시스템입니다. 이 장치는 강력한 광학을 사용하여 photoresist 레이어를 켜고 스핀 코팅, 스프레이 코팅, 노출 및 개발을 포함한 다양한 처리 모드를 활성화합니다. 이 기계는 저점도 (low-viscosity) 와 하드 포토리스트 (hard photoresist) 를 포함한 다양한 포토리스 소재를 지원하여 소규모 프로세싱 및 다중 레이어 패턴화에 모두 사용할 수 있습니다. APS 1104 를 사용하면 다양한 애플리케이션에 대한 툴을 쉽고 빠르게 프로그래밍할 수 있습니다. 고성능 스테퍼 모터는 포토레시스트를 빠르고 정확하게 배치하고 처리하는 데 사용됩니다. 에셋은 또한 임베디드 마이크로프로세서 (Embedded Microprocessor) 를 갖추고 있어 설정 시간을 줄이고 매개 변수를 쉽게 관리할 수 있습니다. 이 모델은 또한 광범위한 기판 재료를 지원합니다. "레이저 '와 광섬유 (광섬유) 와 같은 표준 기판 과 고급 기판 을 모두 처리 할 수 있게 해 주며, 그것 은 여러 가지 까다로운" 응용프로그램' 에 적합 하다. 장비 에 사용 할 수 있는 "사진 저항재 '는 내구성 이 매우 강하며, 기판 에 훌륭 한 접착 을 한다. LEYBOLD APS 1104에는 고급 옵틱 시스템이 장착되어 있습니다. 이는 일관된 패턴화 결과를 통해 높은 품질과 반복 가능한 노출을 보장합니다. 이 장치는 또한 다양한 프로그램 가능 노출 매개변수 (programmable exposure parameters) 를 지원하므로 사용자가 기판의 정확한 요구 사항에 따라 노출 시간 (exposure time) 과 강도 (intensity) 를 조정할 수 있습니다. 이 기계는 가장 널리 사용되는 실험실 프로세스 (예: 스핀 코팅 및 스프레이 코팅) 와 호환됩니다. 이 도구는 다양한 응용 프로그램에 사용되는 속도, 시간, 코팅 레이어를 빠르고, 쉽게 설정하고, 조정할 수 있습니다. 이 자산은 또한 고급 안전 기능 (Advanced Safety Features) 을 갖추고 있어 실험실 환경에서 안전하게 사용할 수 있습니다. 마지막으로, 임베딩 마이크로 프로세서는 쉬운 작동과 문제 없는 유지 관리를 가능하게 합니다. 이 모델은 다양한 애플리케이션/프로세스에 대해 신속하고 안전하게 재구성할 수 있습니다. APS 1104 는 안정적이고 생산성이 높은 포토리스 (photoresist) 장비로, 사용자에게 빠르고 정확하며 쉽게 프로그래밍 가능한 결과를 제공합니다.
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