판매용 중고 LEYBOLD APS 1104 #9054495
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판매
ID: 9054495
Evaporator
Ceramic heaters
Planetary tooling, (6) planets
APS plasma source
2 EVS14 e-guns
Quartz crystal monitoring
Diffusion pump
Rotary and Roots
Polycold and Meissner.
LEYBOLD APS 1104 photoresist 장비는 photoresist 응용 프로그램 개발을위한 다재다능하고 강력한 도구입니다. 이 시스템에는 고속 (high-speed) 에서 초고해상도 (ultra-high resolution) 장치까지 다양한 포토레지스트 (photoresist) 응용 프로그램에 사용할 수 있는 다양한 기능이 있습니다. LEYBOLD 장치의 심장은 포토 esist 디스펜서이며, 포토 esist를 다양한 매개변수로 분배하도록 설계되었습니다. 디스펜서에는 두 개의 다른 펌프가 있으며, 각각은 16 개의 사전 설정된 디스펜스와 스크래치 프로파일을 제공합니다. 이를 통해 사용자는 추가 프로그래밍 없이 photoresist 패턴을 빠르고 쉽게 생성 할 수 있습니다. 이 디스펜서는 또한 투여 제어 기계 (dosing control machine) 를 특징으로하며, 이를 통해 photoresist의 증착과 패턴을 정확한 사양에 맞게 최적화 할 수 있습니다. photoresist strobe 도구는 고속 및 초고해상도 응용 프로그램을 위해 설계되었습니다. 인클로즈드 플래시 전구 (enclosed flash bulb) 와 정밀 미러 에셋 (precision mirror asset) 의 도움을 받아 광미러 레이어를 자외선에 정확하고 빠르게 노출 할 수 있습니다. 그 결과, 기판에 균일 하고 일관성 있는 photoresist 레이어가 생성되며, 사용자 사양에 따라 패턴 화 될 수 있습니다. APS 1104 모델은 습식 및 건식 청소 프로세스뿐만 아니라 다양한 에칭 프로세스를 처리 할 수도 있습니다. 이러한 옵션을 통해, 사용자는 다양한 마이크로 구조 응용 프로그램에 대해 매우 복잡한 photoresist 레이어를 쉽게 만들 수 있습니다. LEYBOLD APS 1104 장비는 안정성이 높고 효율적입니다. 직관적인 컨트롤을 제공하여 photoresist 매개 변수를 쉽게 사용하고 조정합니다. 이 시스템에는 또한 자동 프라이머 감소 (Automatic Primer Reduction) 가 있으며, 프라이밍 양을 줄이고 불필요한 폐기물을 방지하고 최고 수율을 보장합니다. 또한 결함이있는 포토레지스트 패턴의 위험을 최소화하는 자동 결함 감지 장치 (automated defect detection unit) 가 있습니다. 이를 통해 비용을 절감하면서 일관된 고품질 결과를 얻을 수 있습니다. 요약하면, APS 1104 포토 esist 기계는 포토 esist 응용 프로그램을위한 다재다능하고 강력한 도구입니다. 다양한 기능과 옵션을 제공하므로 Photoresist 프로세스를 최적화하여 결과를 향상시킬 수 있습니다 (영문). 이 도구는 또한 높은 신뢰성, 비용 절감 효과를 제공하므로 실험실 및 포토레시스트 (photoresist) 제조업체에 이상적인 선택입니다.
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