판매용 중고 LEYBOLD APS 1104 #293794881

레이 볼드 APS 1104 (LEYBOLD APS 1104) 는 생산 환경 내에서 반도체 웨이퍼의 제어 및 자동 습식 처리를 위해 설계된 포토 esist 장비입니다. APS 1104 시스템은 2 단계 설계를 채택한 오픈 프레임 플랫폼 (Open-Frame Platform) 으로, 생산 환경에서 효율성과 안전성을 극대화할 수 있습니다. 이 모듈에는 4 개의 개별 처리 모듈이 있으며, 각 모듈마다 전용 컨트롤을 사용하여 독립적으로 작동하므로, 이상적인 프로세스 제어가 가능합니다. 장치 의 상류 층 은 "컨베이어 '로 이루어져 있는데, 이것 은 적재소 에서 4 개 의 처리" 모듈' 로 "웨이퍼 '를 운반 한다. 컨베이어는 미리 정해진 속도와 간격으로 웨이퍼 (wafer) 를 이동하도록 미리 설정되어 있으므로 반복 가능하고 정확한 프로세스 시간이 가능합니다. "컴퓨터 '의 하부 층 에는 각" 모듈' 의 공정 "탱크 '가 해결책 을 이끌어 내는 가공 솔루션" 탱크' 가 들어 있다. 이 기계의 4 가지 처리 모듈은 반도체 웨이퍼의 습식 처리에 사용됩니다. 첫 번째 "모듈 '은 저항성 회전 과정 을 수행 하여 포토레지스트 물질 을" 웨이퍼' 표면 에 적용 시킨다. 두 번째와 세 번째 모듈은 각각 개발 (development) 과 임플란테이션 (implantation) 을 수행하는 반면, 마지막 모듈은 스트리핑 프로세스를 수행하여 포토 esist 재료를 제거합니다. 이 4 개의 모듈 각각은 패들 (paddle) 로 구성된 로터리 드럼 (rotary drum) 을 사용하여 프로세스 챔버 (process chamber) 내에서 웨이퍼를 전송합니다. 프로세스 드럼에는 가열 요소와 제어 (control) 가 포함되어 있어 정확한 온도 설정과 프로세스 제어가 가능합니다. LEYBOLD APS 1104는 또한 여러 가지 내장 안전 기능을 제공합니다. 이 도구는 조작자 위치 (operator position) 로부터의 최대 액세스 가능성과 제어를 가능하게 하여 전면 (front) 패널에서 전체 자산을 모니터링할 수 있도록 설계되었습니다. 경보 시스템 (Alarm Systems) 과 경고 표시등 (Warning Light) 은 넘치는 탱크 또는 작동 온도 한계에 도달하는 기계의 잠재적 위험 운영자에게 경고 할 수 있습니다. APS 1104 는 자동화된 반도체 습윤 처리를 위한 탁월한 포토레시스트 (photoresist) 모델로, 생산 환경에 최대한의 안전성, 정확성 및 효율성을 제공합니다.