판매용 중고 LEYBOLD APS 1104 #293627089

ID: 293627089
빈티지: 2000
Coating machines 2000 vintage.
LEYBOLD APS 1104는 오늘날의 집적 회로 제작 플랜트의 정밀 사진 촬영 요구 사항을 충족하도록 설계된 최첨단 포토 esist 장비입니다. 양성 (positive) 및 음성 (negative) 사진작용자의 광범위한 재료를 빠르고 쉽고 정확하게 패턴화합니다. APS 1104 는 여러 애플리케이션 및 요구 사항에 맞게 사용자 정의할 수 있는 모듈식 리소그래피 툴입니다. 이 시스템은 세 가지 기본 하위 시스템 (제어 및 통신 시스템, 이미징 유닛 및 저항 전달 시스템) 으로 구성됩니다. 제어 및 통신 도구는 장비를 제어 프로세서에 연결하는 역할을 합니다. 또한 이미징 자산, Delivery Model (제공 모델) 및 기타 구성 요소와의 통신과 사용자와의 통신을 용이하게 합니다. 이미징 장비는 고해상도 카메라와 레티클 교환 (reticle exchange) 기능이 있는 별도의 노출 헤드 (exposure head) 로 구성됩니다. 레티클 시스템은 양성 및 음성 포토 esist 패턴을 모두 지원합니다. 전달 장치 (delivery unit) 는 광소시스트를 균일 하고, 반복 가능하며, 정확한 패턴으로 기판에 전달하는 책임이 있습니다. 또한 LEYBOLD APS 1104 에는 이 시스템의 사용을 단순화하고 원하는 노출 프로파일을 신속하게 생성할 수 있는 풍부한 기능의 직관적인 소프트웨어 패키지가 포함되어 있습니다 (영문). 사용자는 노출 매개변수를 쉽게 구성하고, 노출 결과를 모니터링하고, 프로세스 결과를 신속하게 확인할 수 있습니다. 이 도구는 ArF 레이저 (ArF Laser) 를 제공하여 높은 정확도와 신뢰성으로 다양한 유형의 포토 esist를 노출시킬 수 있습니다. 이러한 모든 기능과 기능을 통해 APS 1104는 정밀 사진 촬영 응용 프로그램을위한 강력한 도구가 됩니다. LEYBOLD APS 1104의 주요 장점은 유연성과 확장성, 신속한 노출 및 자동화 기능, 고성능, 직관적인 사용자 인터페이스 등입니다. 또한 APS 1104는 신뢰할 수 있도록 설계되었으며 최소한의 유지 보수가 필요합니다. 이 자산은 칩 설계 및 제작, 실리콘 비아 통과, 모델 온 칩 디자인, 자동차 전자 제품 및 MEMS 프로세스와 같은 다양한 응용 분야에도 사용될 수 있습니다. 전반적으로, LEYBOLD APS 1104는 강력하고 신뢰할 수있는 포토리스트 (photoresist) 툴로, 사용자가 정확한 리소그래피 결과를 얻을 수있는 시간입니다. 다용도, 견고하고 효율적인 툴로서, 다양한 생산 요구 사항에 적합합니다.
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