판매용 중고 LEYBOLD APS 1104 #293618526

LEYBOLD APS 1104는 고도의 정밀 마스크 제작, 검사 및 도량형을 위해 설계된 포토 esist 장비입니다. APS (Advanced Production Control Unit) 와 최첨단 포토 Esist 플랫폼을 통합 한 자동 프로세스 시스템입니다. APS 1104 (APS 1104) 를 통해 고객은 고급 정밀 포토 esist 기술을 사용하여 레티클과 마스크의 생산 및 도량형 프로세스를 실행할 수 있습니다. 이 과정에는 사진 분석기의 회전, 노출 후 베이킹, 냉각 및 개발이 포함되며, 이후 사진 해설을 위해 패턴 화 된 저항이 생성됩니다. 전체 photoresist 프로세스의 설계 및 제어는 동일한 APS 플랫폼에서 단일 워크플로우 (workflow) 로 수행 할 수 있습니다. 이 기계는 2 단계 레티클 타일링, 비접촉/접촉 제어, 다중 파장 도량형 및 이미징, 바코드 추적과 같은 최신 포토 esist 기술을 사용합니다. 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 로 설계되어 사진작가의 제작, 도량형을 손쉽게 제어하고 최적화할 수 있습니다. LEYBOLD APS 1104 는 마스크 제작 프로세스를 자동으로 최적화하여 생산 처리량을 극대화하고 주기 (cycle) 시간을 단축하는 맞춤형 제어 툴을 갖추고 있습니다. 또한 APS 1104 는 완벽한 품질 관리 기능을 포함한 다양한 표준/맞춤형 이미징 솔루션을 제공합니다. 고해상도 Zeiss 현미경과 AIITM (Accurate Image Interleave) 자산을 사용하면 다양한 유형의 포토 esist에서 가장 작은 결함까지도 감지 할 수 있습니다. 또한이 모델에는 photoresist 패턴의 in-situ 분석을위한 스캔 전자 현미경 (SEM) 도 포함됩니다. 또한 LEYBOLD 포트폴리오의 일부로 LEYBOLD APS 1104는 RTP, 충전, 결합 및 전송과 같은 뛰어난 다운 스트림 기능을 갖추고 있습니다. 이를 통해 고객은 photoresist 패턴을 선호하는 기판으로 빠르고 정확하게 이동할 수 있습니다. 요약하면, APS 1104는 고도의 정밀 마스크 제작, 검사 및 도량형을 위해 설계된 고급 포토 esist 장비입니다. 즉, 생산 제어 시스템, 맞춤형 이미징 솔루션, 뛰어난 다운스트림 (downstream) 기능을 통해 전체 포토레지스트 (photoresist) 프로세스를 직관적으로 제어할 수 있으므로 고밀도 마스크 제작에 이상적인 솔루션입니다.