판매용 중고 LB BOHLE BFC 400 #293799612
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ID: 293799612
빈티지: 2020
Tablet coater
Stainless steal 316L
Weld seams ground flush
Surface finish Ra ≤ 0.5 μm
Mech, mirror polished
Non metal materials Silicone, EPDM, PTFE
Suspension liquid contact parts:
Stainless steel 316L
Weld seams Ra ≤ 1.6 μm
Surface Ra ≤ 0.8 μm
Non metal materials Silicone, EPDM, PTFE
Cleaning water contact parts:
Stainless steel 316L
Weld seams Ra ≤ 1.6 μm
Surface Ra ≤ 0.8 μm
Non metal materials Silicone, EPDM, PTFE
Shrouding:
Stainless steel 316L or 304
Weld seams ground flush
Structural welds buffed but not
ground
Surface brushed or ground by vibration
Ra ≤ 0.8 μm, supporting welds
untreated
Non metal materials Silicone, EPDM, PTFE, Rubber
Safe guard rating IP 65
Explosion protection Installation in non-EX classified area
Technical data base machine BFC 400
Capacity: 450 liter
Pan speed: 0.5-15 rpm
Air flow volume, process: 2000-6000 nm³/h
Air inlet temperature: 30-80 °C
Number of spray nozzles: 8 Stk
Nozzle type: 930/7-1 S42ABC
Suspension flow: 60-600 g/min
Atomizing air pressure: 0-3 bar(ü)
Pattern air pressure: 0-3 bar(ü)
2020 vintage.
LB BOHLE BFC 400은 반도체 산업에서 포토 esist 코팅의 정확하고 효율적인 처리를 위해 설계된 정교한 포토 esist 장비입니다. 이 고급 시스템은 고품질 제약 및 반도체 처리 장비로 유명한 LB BOHLE에서 제조합니다. BFC 400 장치에는 최첨단 기술이 적용되어 photoresist 응용 프로그램에서 안정적이고 반복 가능한 결과를 제공합니다. 이 제품은 실리콘 웨이퍼 (silicon wafer), 유리 패널 (glass panel) 및 기타 전자 부품 등 다양한 기판에서 매우 얇고 균일 한 포토 esist 코팅을위한 반도체 산업의 엄격한 요구를 충족하도록 설계되었습니다. LB BOHLE BFC 400 기계의 중심에는 정밀 코팅 헤드 (coating head) 가 있으며, 기판 표면에 포토 esist 물질의 정확한 분배 및 균일 한 분포를 보장합니다. 코팅 헤드에는 정밀 온도 조절, 압력 조절 (pressure control), 조정 가능한 분배 속도 (adjustable dispensing speed) 와 같은 고급 제어 기능이 장착되어 있어 다양한 포토 esist 재료 및 응용 프로그램 요구 사항에 대한 코팅 프로세스를 최적화합니다. BFC 400 툴은 특정 사용자 요구 사항과 애플리케이션 요구 사항을 충족하는 다양한 맞춤형 구성 옵션을 제공합니다. 다른 기질 또는 다른 유형의 포토 레스트 (photoresist) 재료를 동시에 처리하기 위해 여러 코팅 헤드로 구성 할 수 있습니다. 에셋은 또한 포스트 코트 베이크 스테이션 (post-coat bake station), 용매 증기 챔버 (solvent vapor chamber) 및 UV 노출 장치 (UV exposure unit) 와 같은 추가 모듈과 통합되어 완전한 포토 esist 처리 솔루션을 제공 할 수 있습니다. LB BOHLE BFC 400 모델의 주요 기능 중 하나는 고급 제어 소프트웨어 (Advanced Control Software) 로, 사용자는 코팅 프로세스의 다양한 매개변수를 정밀도로 정의하고 제어 할 수 있습니다. 소프트웨어 인터페이스 (Software Interface) 는 사용자 친화적이며 직관적이므로 운영자가 코팅 프로세스를 실시간으로 설정하고 모니터링할 수 있습니다. 또한 자동화된 청소 (cleaning) 및 유지 보수 (maintenance) 루틴이 장착되어 시간 경과에 따른 일관된 성능과 안정성을 보장합니다. BFC 400 시스템은 효율성과 생산성 (productivity) 에 중점을 두고 설계되었으며, 이를 통해 photoresist 프로세싱에서 높은 처리량과 생산량을 달성할 수 있습니다. 이 장치는 견고하고 내구성이 뛰어난 구성 요소로 제작되어 산업 생산 환경에서 장기적인 성능과 안정성을 보장합니다 (영문). 또한 운용자 와 환경 을 위험 한 화학 물질 과 공정 으로부터 보호 하기 위한 "안전 '기능 으로 설계 되었다. 결론적으로, LB BOHLE BFC 400은 반도체 처리에서 정밀도, 안정성 및 효율성을 제공하는 최첨단 포토 esist 기계입니다. BFC 400 툴은 고급 기술, 맞춤형 옵션, 사용자 친화적 인터페이스 (user-friendly interface) 를 통해 반도체 업계의 다양한 포토레시스트 코팅 어플리케이션을 지원하는 다목적 솔루션입니다.
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