판매용 중고 LAURELL WS-400B-6NPP/LITE #293629512

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Spin coater.
LAURELL WS-400B-6NPP/LITE는 반도체, MEMS/NEMS, 전자 및 의료 계측 산업의 습식 처리 응용 분야에 이상적인 완전 자동화 된 포토레스 장비입니다. LAURELL WS-400B-6NPP-LITE는 독특한 탱크 설계로 마이크로 칩, MEMS 장치와 같은 작은 볼륨의 부품의 고수율 및 고출력 생산에 적합합니다. 이 시스템에는 600mm x 400mm 가변 깊이 true-tilt 플랫폼과 섭씨 20 ~ 70도 사이의 조정 가능한 온도 범위의 가변 깊이 조절 가능한 솔루션 탱크가 있습니다. 이 장치에는 가공 목욕탕 (Processing Bath) 솔루션과 잠금식 도어 (Lockable Door) 를 유지하는 통합 뚜껑이 있어 가공 목욕의 안전을 보장합니다. WS-400B-6NPP/LITE 포토 esist 머신은 프로세스 제어의 유연성을 위해 다양한 기능을 제공합니다. 이 도구는 사전 프로그래밍되고 편집 가능한 자동 레시피를 가지며, 프로세스 결과의 정확성과 재생성을 최적화하기 위해 사이클 타이밍 (cycle timing), 가변 (variable), 단계별 프로세스 (step-by-step process) 옵션을 사용하여 구성할 수 있습니다. 인체 공학적으로 설계된 제어 자산은 액세스 및 운영을 단순화하여 자동화된 레시피에 빠르고 쉽게 액세스하고 온도, 압력, 가스 흐름, 프로세스 시간 (process time) 등 photoresist 모델의 모든 측면을 관리할 수 있습니다. 다중 흐름 세척 매니 폴드 (multi-flow washing manifold) 와 같은 고급 컨트롤은 화학 농도를 모니터링하여 코팅의 정확성과 재생성을 보장합니다. 또한, 부품 정리 및 건조를 위해 핸드 샤워 및 자동 사이클 셔터가 포함됩니다. 터치스크린 모니터를 사용하면 온도, 압력, 시간 등 모든 프로세스 매개 변수를 편리하게 모니터링할 수 있습니다. WS-400B-6NPP/LITE 포토레지스트 (photoresist) 장비는 매우 작은 부품의 고수율 및 처리량을 위한 안정적이고 경제적인 방법을 제공합니다. 매우 정확하고, 효율적이며, 유지 보수 요구 사항이 낮은 반복 가능한 결과를 제공합니다. 다용도 제어 시스템 (versatile control system) 은 생산 요구 사항에 따라 광범위한 프로세스 단계 및 조건을 허용합니다. 이 장치는 볼륨에서 마이크로 전자 및 정밀 MEMS 부품을 생산하는 데 이상적입니다.
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