판매용 중고 LAURELL 650M #9409668

LAURELL 650M
제조사
LAURELL
모델
650M
ID: 9409668
Spin coater.
LAURELL 650M 포토 esist 장비는 저항 코팅 (resist coating) 및 습식 처리 (wet processing) 와 같은 다양한 산업 프로세스에 사용되는 고급 자동 기계입니다. 이 시스템은 최소 1 미크론 크기의 뛰어난 패턴화 기능을 제공합니다. 또한, 장치의 제어 가능한 온도 범위 (0 ° C ~ 50 ° C) 는이 기계가 고화질, 고정밀 프로젝트에 적합합니다. 질소 삽입 작업 실, 통합 4 위치 핫 플레이트 및 8 인치 포토 마스크 (photomask) 로 구성된 650M 도구는 다양한 생산 응용 프로그램의 요구를 충족하도록 설계되었습니다. 또한, 이 자산은 컨베이어 모델이 내장되어 있으며, 여러 포토 esist 및 mordant 재료와 호환됩니다. 이 장비 에는 여러 개 의 "웨이퍼 '나 기판 을 동시 에 계속 가공 할 수 있는" 필름' 수송 "벨트 '가 들어 있다. 속도와 효율성 측면에서 볼 때, 최대 42 개의 스테이션으로 시간당 최대 300 개의 웨이퍼 (wafer) 를 처리하는 시스템이 큰 이점입니다. 또한, 로렐 650M (LAURELL 650M) 이 완전히 비활성 된 질소로 가득 찬 환경에서 작동 할 수 있다는 점은 물 및 공기 오염의 위험을 제거하여 청소실 운영에 좋은 선택이되었습니다. 품질 을 보장 하기 위해, 650M 에는 여러 가지 "센서 '와 정확 한 제어" 시스템' 이 장착 되어 있다. 이 장치는 PLC 기술을 사용하여 공정의 모든 영역 (예: 압력, 온도, 필름 증착 속도) 을 모니터링합니다. 또한, 클로즈드 루프 (closed-loop) 제어 및 광범위한 데이터 로깅 기능을 허용하는 정교한 컴퓨터 컨트롤도 있습니다. 또한, LAURELLL 650M은 편리한 터치 스크린 인터페이스와 원격 모니터링 및 제어를 위한 이더넷 연결을 통해 손쉽게 작동할 수 있습니다. 이 기계는 또한 재료 홀더, 노즐 및 기타 액세서리를 위해 여러 가지 옵션으로 뛰어난 유연성을 제공합니다. 요약하자면, 650M 포토레스 도구는 고급 산업 공정 자동화 솔루션입니다. 매우 안정적이고 강력하며, 필름 증착률 (film deposition rate) 과 압력 수준 (pressure level) 을 완벽하게 제어하여 시간당 최대 300 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 또한 내장형 센서, PLC 기술, 데이터 로깅 (data logging) 기능을 비롯하여 여러 소재와의 호환성을 통해 고정밀도, HD 어플리케이션을 위한 최상의 선택이 가능합니다.
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