판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC RCD 8 #293756159
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ID: 293756159
빈티지: 2015
Spinner
Chamber
Spin speed range: -7000 RPM to +7000 RPM
Acceleration: Up to 1000 RPM
Time control: 0.1 Sec
Single or dual bath: Spin coater with spin bowl
Type: Vacuum chuck
2015 vintage.
Kar SussKARL SUSS/MICROTEC RCD 8은 반도체 장치의 제작을 돕기 위해 설계된 포토 esist 장비입니다. 그것 은 "웨이퍼 '에" 포토레지스트' 무늬 를 정확 하게 노출 시켜 원하는 기능 을 형성 하도록 도와 주는 데 사용 된다. MICROTEC RCD 8은 UV 스펙트럼에서 짧은 파장을 방출하는 4 인치 쿼츠 램프를 사용합니다. 정확한 셔터 시스템은 포토 esist 물질의 정확한 노출을 보장합니다. 궁극적으로 미세한 해상도의 칩을 생산합니다. 이 장치는 노출을위한 두 가지 옵션 (현미경을 통한 정렬, 또는 패턴 정렬 기계) 으로 설계되었습니다. 현미경 정렬에서, 연산자는 접안렌즈를 통해 보이며, 정확한 패턴을 노출 할 수 있습니다. 패턴 정렬 도구 (pattern alignment tool) 는 디지털 카메라와 패턴 디스플레이를 사용하여 패턴을 정확하게 정렬합니다. Kar SussKARL SUSS RCD 8의 가장 매력적인 기능 중 하나는 운영자가 작동 중일 때 노출 설정을 보고 조정할 수있는 크고 밝은 모니터입니다. 모니터를 사용하면 노출 설정을 빠르고 정확하게 조정할 수 있습니다. 이 자산은 또한 이중 카운트, 고에너지 전자 빔 노출, 패턴 오버레이 및 자동 노출과 같은 프로세스에 대한 광범위한 프로그래밍 옵션을 제공합니다. 이러한 설정은 운영 프로세스에서 연산자에게 더 많은 유연성을 제공합니다. 또한 RCD 8에는 웨이퍼 정렬 및 자체 보정과 같은 자동 프로세스가 있습니다. 이를 통해 운영자는 빠르고 효율적으로 고품질 제품을 생산할 수 있습니다. KARL SUSS/MICROTEC RCD 8은 통합 전자 셔터 안전 인터 록과 함께 안전성을 위해 설계되었습니다. 또한이 모델은 다양한 보호 마스크와 호환됩니다. 전반적으로, Kar SussMICROTEC RCD 8은 반도체 칩 제조를위한 포토 esist 패턴을 정확하게 노출 할 수있는 신뢰할 수있는 장비입니다. 다양한 설정과 자동화 프로세스 (automated process) 를 통해 고품질 장치를 생산할 수 있습니다.
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