판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC RC 8 #9394308

KARL SUSS/MICROTEC RC 8은 고급 마이크로 구조화 및 마이크로 리소그래피를 위해 설계된 자동 포토리스 장비입니다. 알리그너 (aligner) 와 노출 헤드 (exposure head) 를 사용하여 미세 구조의 패턴화를 매우 정확하게 달성합니다. MICROTEC RC 8은 저항과 소프트 노출을 회전시키는 2 단계 프로세스를 갖는다. 저항의 회전 (spinning) 은 균일 한 두께를 보장하고, 노출 헤드의 강도 및 노출 시간을 제어하는 부드러운 노출 (soft exposure) 이 뒤 따릅니다. KARL SUSS RC 8 정렬기는 높이 조절 가능한 스테이지를 가지며, 포토 esist 필름을 회전시키기 위해 회전 속도가 최대 3000 rpm입니다. 또한 레이저 다이오드 정렬, 포토 툴의 자동 정렬, 레지스트/베이크/스트립 컨트롤러 및 시각적 안내 시스템 (Visual Guided System) 을 갖추고 있어 패턴을 기판으로 정확하게 정렬하고 전송할 수 있습니다. 노출 장치에는 노출 시간 범위가 0.03 ~ 2.75 초, 조명 전력은 10 W/cm2의 노출 헤드가 포함되어 있습니다. 또한 감광제 필름의 균일 한 노출을 보장하기 위해 감광제 렌즈가 있습니다. 이 기계는 또한 정확하고 반복 가능한 선형 운동을위한 카바이드 로드 (carbide rod) 와 노출 중 포토 esist 필름을 확보하기위한 진공 척 (vacuum chuck) 을 특징으로합니다. 이 도구에는 또한 필름을 노출시키기 위해 저항하는 프리 베이크 기능이 있습니다. 베이크 챔버에는 최대 175 ° C의 프리 베이크 온도에 대한 3 개의 샘플 홀더가 있습니다. 스트립/스트리퍼 챔버에는 샘플 표면에서 저항을 벗기고 청소하기 위해 6 개의 웨이퍼 캐리어가 있습니다. 이 자산은 또한 최대 6 "의 자동 웨이퍼 로딩, 언로드 및 레지스트 샷을 관리 할 수 있습니다. RC 8은 실리콘, 유리, 금속 및 플라스틱과 같은 다양한 기질을 처리 할 수 있습니다. 또한 금, 구리, 알루미늄, 티타늄, 크롬과 같은 매우 얇은 재료 층을 제작하는 데 사용될 수 있습니다. 이 모델은 품질 전자 기기, 광학 필름, 생의학 응용 프로그램 제조에 널리 사용됩니다. 이것은 마이크로 구조화의 고성능, 고급 어플리케이션을 위해 설계된 자동 장비입니다.