판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC RC 8 #9134145

ID: 9134145
Spin coater 2001 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC RC 8은 최첨단, 고정밀 석판 응용을 위해 특별히 설계된 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 뛰어난 속도, 정확성, 반복성을 제공하며 전체 석판화 프로세스를 정확하게 제어합니다. MICROTEC RC 8은 자동화된 고해상도, 8인치 (200mm) 웨이퍼 전송 및 처리 장치를 갖추고 있습니다. 이 기계는 노출, 개발, 라미네이션, 청소 및 필름 회전과 같은 여러 석판화 작업을 위해 설계되었습니다. 방열제 (positive resists), 방열제 (negative resists), 방열제 (thermal reaction resists) 등 다양한 저항재로 작업할 수 있다. 이 도구는 2 "~ 8" (50mm-200mm) 의 다양한 웨이퍼 크기와 호환됩니다. 또한 유리, 석영, 실리콘 등 다양한 기판을 처리 할 수 있습니다. MicrOptix (tm) optics 정렬 컨트롤러는 렌즈 정렬 프로세스를 단순화하고 자동화하여 최적의 해상도와 일관된 석판화 (lithographic) 패턴을 보장합니다. 자산의 직관적인 컨트롤 및 종합 모니터 디스플레이는 운영자에게 정확한 제어 및 실시간 피드백 (feedback) 을 제공합니다. 자동 레티클 스프레이어 (reticle sprayer) 모델을 사용하면 개발을 위해 저항성 또는 다중 화학 물질을 정확하게 적용 할 수 있습니다. 이 장비는 또한 저항 온도, 속도 및 압력을 제어하기위한 내장 자동화 프로토콜을 갖추고 있습니다. 이 포토 esist 시스템은 또한 뛰어난 안전 기능을 제공합니다. 온보드 샤워 장치 (Integrated Shower Unit) 는 각 노출 후 챔버를 플러시하여 광학 및 부산물을 보호합니다. 이 기계는 또한 유해 미립자 및 유해 연기에 대한 노출을 줄이는 높은 진공/환기 도구를 사용합니다. 이 자산은 220V 콘센트에서 작동합니다. KARL SUSS RC 8은 극도의 정확성과 정확성이 필요한 리소그래피 응용 프로그램을위한 완벽한 선택입니다. 견고하고, 정확한 설계 및 최첨단 자동 기능을 통해 모든 wafer-processing 기능을 선택할 수 있습니다.
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