판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC RC 8 #293639578

ID: 293639578
빈티지: 2000
Spin coater Pump and controller Manuals 2000 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC RC 8은 레이어 크기가 증가하는 웨이퍼 처리를 위해 설계된 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 정밀 석판화 (precision lithography) 를 제공하며 집적 회로에 패턴과 피쳐를 생성하는 데 사용됩니다. 광원 (light) 을 사용하여 재료의 원하는 피쳐를 활성화하는 일루미네이션 장치 (integrated illumination unit) 가 장착되어 있다. 이 기계는 고정밀 서보 액추에이터 (HP) 를 사용하여 엔클로저 내에서 광학을 정확하게 배치하고 빠른 인쇄 속도를 제공합니다. 광학은 최대 0.3 미크론의 해상도로 조절 가능한 배율을 가지고 있습니다. 조명 도구 (Illumination Tool) 는 조정 가능한 광원, 셔터 및 빔 스플리터로 구성되어 있으며, 재료를 균등하게 노출시키는 데 도움이됩니다. "디지털 마이크로미러 '자산 (DMS) 이 장착되어 있어 복잡한 패턴과 모양을 빠른 속도로 만들 수 있다. MICROTEC RC 8 모델은 또한 화학적으로 증폭 된 광전자를 개발하고 노출시키는 데 사용될 수있다. 광범위한 재료와 호환되며 접촉 (contact) 및 투영 사진 해설에 모두 사용할 수 있습니다. 자동 로드 및 언로드 (automatic loading and unloading), 비상 정지 버튼 (emergency stop button) 및 작동 오류에 대한 추가 보호를 위한 내장 인터 록 (interlock) 장비와 같은 필수 안전 기능이 장착되어 있습니다. 이 시스템에는 프로세스 매개변수를 제어하고 심층 분석을 허용하는 내장 (내장) 컴퓨터도 함께 제공됩니다. KARL SUSS RC 8 장치는 다양한 기판에서 회로를 만드는 데 이상적인 솔루션입니다. 박막 및 나노 구조를 만드는 데에도 사용될 수 있습니다. 전력 소비를 최소화하면서 안정적이고 정확한 패턴을 제공하므로 '산업 및 연구 응용프로그램' 에 적합한 툴입니다.
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