판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC M 2000E #9316057

KARL SUSS/MICROTEC M 2000E는 서브 미크론 구조를 만드는 데 사용되는 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 3 가지 주요 구성 요소 (핀저 액체 디스펜서, 스핀 코트 및 디지털 영상 장치 (Monocrhomatic, Color, UV, Fluorescence 및 IR) 로 구성됩니다. "티이저 '액체 분배기 는 광물질 을 기판 으로 분배 하고" 패턴' 화 하는 데 사용 된다. "스핀코우터 '는 기질 의 표면 에" 포토레지스트' 를 균일 하게 분포 시키고 "포토레지스트 '를 적절 한 모양 으로 인도 하는 데 사용 된다. 디지털 이미징 머신 (digital imaging machine) 은 비사진성 시스템보다 훨씬 뛰어난 해상도를 제공하며, 다양한 해상도와 검사 옵션을 제공합니다. MICROTEC M 2000E는 0.2 µm 미만의 기능 크기를 생산하는 기능을 제공하며, 이는 응용 프로그램 요구 사항에 따라 더 조정 할 수 있습니다. 단색 조명, 컬러 라이트, UV (ultra-violet) 라이트, 형광 조명 및 적외선 이미징과 같은 다양한 조명 옵션을 제공합니다. KARL SUSS M 2000E는 다양한 조명 옵션 외에도 긍정적 인 포토 레지스트, 네거티브 포토 레지스트, 리모버 타입 및 다중 노출 된 포토 저항과 같은 다양한 포토 esist를 제공합니다. 게다가, 이 툴은 시간당 최대 1,000 웨이퍼 (wafer) 의 생산 속도에서 높은 처리량 배치를 생성할 수 있습니다. 이를 통해 운영 주기를 향상시키고 제조 프로세스의 비용을 절감할 수 있습니다. 또한, 2 ~ 12 인치 범위의 웨이퍼 크기와 호환되며, 스트레스가없는 작동을위한 완전 자동화 된 웨이퍼 처리 에셋이 특징입니다. M 2000E는 서브 미크론 구조를 만드는 능력 외에도 자동 초점 (focus) 과 초점 (focus) 오프셋 기능으로 탁월한 정확성과 정확성을 제공합니다. 또한 빠른 어드레싱 웨이퍼 매핑 (Fast Addressing Wafer Mapping) 모델이 포함되어 있어 자랑스러워 할 수있는 작은 기능의 정확하고 반복적으로 생산할 수 있습니다. 마지막으로 KARL SUSS/MICROTEC M 2000E 포토 esist 장비는 정밀도, 정확도, 처리량 및 비용 효율성의 강력한 조합을 제공합니다.