판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC Gamma #9382257

ID: 9382257
빈티지: 2005
Developer fully automatic cluster system With (2) Media boxes Power supply: 400 V, 60 Hz, 640 A, 3-Phase 2005 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC Gamma photoresist 장비는 평면 마이크로 일렉트로닉 회로 및 장치의 photoresist 처리 및 제작을 위해 설계된 자동 기계입니다. 그것 은 "웨이퍼 '와 같은 기판 에" 포토레지스트' 물질 을 증착 시키고, 그 다음 에는 광사 를 빛 의 패턴 에 노출 시킴 으로써 작용 한다. "패턴 '을 기계 에 의해 읽은 다음," 패턴' 화 된 "웨이퍼 '를 만들기 위하여 선별적 으로" 포토레지스트' 를 떼어내는 데 사용 된다. 기계는 회전, 가변 속도 스핀 척 (spin chuck) 을 특징으로하며, 기판의 균일 한 회전 및 회전을 허용합니다. 광 정렬 기능을 갖춘 6 축 X-Y-Z 동작 스테이지가 있습니다. 스테이지는 직경 웨이퍼 및 기판을 최대 4 "(10.16cm) 까지 유지할 수 있으며, 진공 제어 표면을 가지고 있어 인쇄 베드와 완벽하게 정렬됩니다. "기판 '의 효율적 이고 정확 한 노출 을 위하여 기계 는 정밀 정렬 장치 를 갖추고 있다. 포토레스 장치 (photoresist unit) 는 또한 껍질 제거 응용 프로그램 및 스프레이 코팅을 포함한 리프트 오프 처리를 수행 할 수 있습니다. 리프트 오프 처리 (Liftoff processing) 는 용매 목욕탕에서 세척 및 처리 된 웨이퍼 (wafer) 로 사진 마스크를 노출하고 처리함으로써 한 단계로 수행됩니다. 따라서 재작업이 필요 없으며 효율적인 고품질 디바이스 제작이 가능합니다. 이 기계의 고해상도 가능성 (high-resolution possibility) 과 작은 웨이퍼 (wafer) 에서도 작은 기능을 만들 수 있는 기능이 추가된 장점입니다. 광전자 기계는 매우 다재다능하며, 커패시터, 저항, 다이오드, 트랜지스터, 기타 여러 구성 요소를 포함한 다양한 마이크로 일렉트로닉 구성 요소 및 장치를 제작하는 데 사용될 수 있습니다. 또한, 필터, 브리지, 멀티 플렉서와 같은 마이크로 일렉트로닉 구조를 만드는 데 사용될 수 있습니다. MICROTEC Gamma photoresist 도구는 사용자 친화적 인 컨트롤로 설계되었으며 자동 초점 (auto-focus) 과 LCD 터치스크린 디스플레이 (Color LCD Touchscreen Display) 와 같은 다양한 사용자 친화적 기능을 제공하여 작동 지침과 기판 처리의 실시간 디스플레이를 제공합니다. 또한 운영자에게 글리치 또는 모델 오작동을 경고하는 자가 진단 자산 (self-diagnostic asset) 과 같은 안전 기능도 포함됩니다. 포토 esist 장비는 또한 모든 실험실 설정에 적응력이 높으며, 우수한 장치 제작 결과를 제공합니다.
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