판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC Gamma #9314869

KARL SUSS/MICROTEC Gamma는 microelectronic 및 optoelectronic 구성 요소의 제조에 사용하도록 설계된 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 리소그래피를위한 자동화된 다기능 도구이며, 정확하고 반복 가능한 결과를 제공합니다. 최대 크기가 150mm, 최소 기능 크기가 0.2 (m) 인 플랫 기판 처리에 적합합니다. 이 장치는 저항 코터 및 개발자, 스테퍼/스캐너, 레이저 간섭계, 이미지 및 패턴 생성기와 같은 여러 기술을 통합합니다. 이 기계의 구성요소는 초박막 (ultra-thin-film) 기술을 포함한 다양한 응용 프로그램에 대해 함께 작동 할 수 있습니다. 이 도구는 또한 회색 스케일, 이진, 접촉, 근접 및 단계 및 반복 노출 체계를 포함한 다양한 리소그래피 기능을 제공합니다. 스테퍼/스캐너는 0.5 ~ 24mm 사이의 렌즈-포토 마스크 거리를 몇 나노 미터의 정렬 정확도로 처리 할 수 있습니다. 에셋은 최대 0.5000m, 정확도 0.2m로 고해상도 패턴을 생성 할 수 있습니다. 이 모델은 저항 코팅 두께, 노출 강도 및 지속 시간, 개발 시간 및 조건에 대한 정확한 제어를 제공합니다. 통합 된 MST 도량형 장비는 레이저 간섭계를 사용하여 설계 된 기판에 노출 된 구조를 검사합니다. 따라서 다운타임이 최소화되면서 반복 (repeatable) 결과를 보장할 수 있으며, 잘못된 조정이나 예상치 못한 불규칙성으로 인한 과도한 재작업을 방지하는 데 도움이 됩니다. 또한 작업 관리, 다중 사용자 제어, 프로세스 자동화, 데이터 분석을 위한 통합 소프트웨어 패키지도 제공합니다. 이 소프트웨어를 사용하면 패턴을 빠르고 쉽게 생성, 관리, 저장하고, 개발 시간을 최소화할 수 있습니다. 또한, 이 장치는 해상도와 정확도가 향상된 다양한 패턴 유형 (pattern type) 에 노출되도록 향상된 고정밀도 이미지 생성기를 제공합니다. 결론적으로, MICROTEC 감마 (MICROTEC Gamma) 는 마이크로 일렉트로닉 및 광전자 구성 요소 제작을위한 정확하고 반복 가능한 결과를 제공하는 자동화되고 모듈식 photoresist 기계입니다. 다양한 기술과 기능을 통합하여 다운타임 최소화 (down time) 을 최소화하면서 일관된 결과를 제공합니다. 고해상도, 높은 정확도 어플리케이션에 적합하며, 작업 관리, 다중 사용자 제어, 프로세스 자동화를 위한 통합 소프트웨어 패키지를 제공합니다.