판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC Gamma #9299570

KARL SUSS/MICROTEC Gamma는 직경이 최대 250mm 인 기판을 처리하도록 설계된 포토 esist 장비입니다. 시스템은 photomask 정렬기와 트랙으로 구성됩니다. 이 정렬기는 마스크의 고해상도 정렬 및 노출을 위해 설계되었으며, 최대 250mm 크기의 기판을 제공합니다. 이 트랙에는 액체 처리기와 오븐, 포토 esist 코팅 및 베이킹이 각각 포함되어 있습니다. 이 장치에는 스테퍼 모터 (Stepper Motor) 와 카메라 (Camera) 가 있으며, 이를 통해 정렬자의 동작을 자동으로 제어하고 정렬 정밀도를 등록할 수 있습니다. MICROTEC Gamma 기계는 건식 리소그래피 프로세스로, 두 단계로 더 나뉩니다. 마스킹 및 이미징 및 포토 esist 코팅. 마스킹 (Masking) 과 이미징 (Imaging) 단계에는 마스크 (Mask) 를 통해 기판으로 향하는 광원을 사용하는 것이 포함됩니다. 이로 인해 패턴 노출 된 기판이 생성됩니다. 광전자 코팅 단계 (photoresist coating stage) 는 액체 핸들러를 사용하여 기판을 광전물과 코팅하는 것을 포함한다. 액체 처리기는 노즐 (nozzle) 을 통해 감광제를 기판에 분배합니다. 그 후, "오븐 '은 감광제 용액 을 활성화 하기 위하여, 코팅 된 기질 을 열처리 하는 데 사용 된다. KARL SUSS 감마 (KARL SUSS Gamma) 도구에는 가면의 진공 접촉을 기판 표면에 이용할 수있는 진공 척 (vacuum chuck) 이 추가로 장착되어 있습니다. 이렇게 하면 "마스크 '를 기판 표면 에 정밀 히 맞출 수 있으며, 또한" 마스크' 와 기판 사이 에 균일 한 접촉 을 만들 수 있다. 또한 감마 (Gamma) 자산은 스테퍼 모터 컨트롤과 모델 성능을 높이는 모터 조회 테이블을 제공합니다. 스텝 모터 (stepper motor) 를 사용하면 노출 영역을 정확하게 제어할 수 있으며, 모터 조회 테이블 (motor look-up table) 을 통해 노출 영역과 관련하여 정렬 정밀도를 제어할 수 있습니다. KARL SUSS/MICROTEC Gamma 장비는 차트 레코더를 사용하여 전체 석판화 결과를 빠르고 정확하게 차트로 표시합니다. 전반적으로 MICROTEC 감마 (MICROTEC Gamma) 는 현대의 사진 분석 과정의 요구를 충족시키기 위해 설계된 매우 효과적인 포토리스 시스템입니다. 이 장치에는 스테퍼 모터 (stepper motor), 진공 척 (vacuum chuck) 및 모터 조회 테이블 (motor look-up table) 과 같은 고급 기능이 통합되어 기판 표면에 마스크를 안정적이고 정확하게 정렬 할 수 있습니다. 이렇게 하면 "마스크 '와 기판 사이 에 균일 한 접촉 을 하게 되어 정확 한 리소그래피 결과 를 얻을 수 있다. 그 에 더하여, 기계 는 도표 기록 장치 를 제공 하는데, 이 "레코더 '는 석판 인쇄 결과 를 쉽게 도표 로 작성 하여 빠르고 정확 한 공정 문서 를 제공 해 준다.