판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC Gamma #293829084
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KARL SUSS/MICROTEC Gamma는 microelectronics 및 electronics 산업의 photolithography 응용 분야에 사용되는 포토 esist 장비입니다. 디지털 스테퍼 시스템, 진정한 1 미크론 정렬, 실시간 위치 지정 장치, 프로그래밍 가능한 단계 및 고급 광학으로 구성됩니다. MICROTEC Gamma는 융합 실리카, 쿼츠, 폴리 에스테르 및 폴리 카보네이트와 같은 기판에 3 차원 패턴과 모양을 정확하고 정확하게 노출 할 수 있습니다. 모든 photolithography 작업을 완료하는 데 필요한 시간을 줄일 수 있도록 설계되었습니다. KARL SUSS Gamma 기계는 고해상도 단계 및 반복 노출 기술을 사용합니다. 이 기술은 스텝 (step) 과 반복 (repeat) 판 사이의 기판과 수직 조정이 가능한 투영 렌즈 (projection lens) 로 구성됩니다. "렌즈 '와 관련 하여 기판 의 위치 를 조절 함 으로써," 패턴' 의 정확 한 정의 를 유지 하면서 기판 의 표면 이 정확 하게 노출 된다. 스테퍼 (stepper) 도구는 소프트웨어를 통해 제어되며, 기판 표면에 패턴을 노출시킬 때 정확한 정렬 및 정확도를 제공합니다. 에셋에는 고해상도 패턴 생성기와 컴퓨터 화 된 자동 다크룸이 장착되어 있으며, 여기에는 개발 선박, 핫플레이트, 개발자, 에치, 스핀 코터, 스프레이 샷 등 필요한 모든 도구가 포함되어 있습니다. 이 기술은 포토레시스트 (photoresist) 솔루션을 수동으로 준비할 필요가 없으므로 사용자가 포토리스토그래피 (photolithography) 프로세스의 모든 단계를 빠르고 정확하게 완료할 수 있습니다. 또한 Gamma에는 광학 핀저, 깊은 UV 렌즈, 1024x1024 픽셀 CCD 카메라 및 SEM (Scanning Electro Microscopy) 모듈과 같은 고급 광학이 장착되어 있어 샘플 표면을 자세히 조사 할 수 있습니다. 이러한 고급 광학은 모델의 해상도와 정확도를 높이고 응용 프로그램 범위를 넓힙니다 (영문). 결론적으로, KARL SUSS/MICROTEC Gamma photoresist 장비는 효율적이고, 정확하며, 견고한 photolithography 도구이며, 다양한 기판에 복잡한 패턴을 정확하게 노출 할 수 있습니다. 고급 옵틱 (optic) 과 스테퍼 시스템 (stepper system) 은 정확하고 반복 가능한 노출을 보장하는 반면, 자동화된 기능은 마이크로 일렉트로닉스 어플리케이션을 위한 시간을 절약하고 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다.
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