판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC Gamma #293745413
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KARL SUSS/MICROTEC Gamma는 nanofabrication 분야의 주요 photoresist 시스템 중 하나입니다. 이 장비는 상업용 마스크 정렬기로, 커스터마이즈 (customized microdevices) 또는 구조물의 사진 해설에 사용될 수 있습니다. 이 회사는 MICROTEC AG라는 회사에서 개발했으며, 가장 널리 사용되는 포토 esist 시스템 중 하나입니다. MICROTEC Gamma에는 몇 가지 기능이 있어 매우 효과적인 장비입니다. 0.5 음 (um) 의 해상도를 가지며 더 다양한 장치 구조를 수용 할 수있는 긴 작업 거리를 제공합니다. 이 시스템에는 마스크 및 웨이퍼의 정확한 정렬을 위한 컨택트 바 (Contact Bar) 가 있는 최첨단 고성능 X-Y-Theta 스테이지가 있습니다. 또한, 이 장치에는 큰 자동 초점 모터 (autofocus motor) 와 노출 제어 (exposure control) 가 포함되어 노출 기간을 정확하게 제어합니다. 통합 스테퍼 모터를 사용하면 마스크 및 웨이퍼를 수동 (manual) 또는 자동 (automatic) 인덱싱으로 정렬할 수 있습니다. KARL SUSS Gamma에는 최대 9 개의 웨이퍼를 동시에 적재 및 언로드 할 수있는 고속 웨이퍼 전송 머신이 장착되어 있습니다. 이 기능은 동일한 프로세스로 여러 웨이퍼를 실행할 때 설정 시간을 크게 단축합니다. 또한, 공구에는 다양한 파장의 빛이 서로 다른 photoresist 제형에 대해 빠르게 조정 될 수 있도록 자동 필터 체인저 (automated filter changer) 가 있습니다. 자산의 가장 놀라운 측면 중 하나는 자동 웨이퍼 처리 (automated wafer handling) 기능입니다. 이 모델에는 하중/언로드 스테이션 (load/unload station) 에서 마스크 (mask) 로 웨이퍼를 운송 한 다음 각 웨이퍼 카세트로 다시 전송하는 컨베이어 장비가 있습니다. 따라서 리소그래피 프로세스 동안 수동으로 웨이퍼를 로드하고 언로드할 필요가 없습니다. 감마 (Gamma) 는 다양한 장치 응용 프로그램에 대한 나노 구조를 만드는 데 관심이있는 사람들에게 탁월한 선택입니다. 탁월한 정확성과 속도를 제공하며, 경험이 풍부한 사용자와 초보자 모두에게 매우 편리합니다. 이 "시스템 '은 여러 가지" 응용프로그램' 에 대한 현미경적 특징 과 구조 를 실현 할 수 있게 해 주는 귀중 한 도구 이다.
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