판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC Gamma #293652802

KARL SUSS/MICROTEC Gamma는 MICROTEC에서 제조 한 포토 esist 장비입니다. 이 photoresist 시스템은 웨이퍼 레벨 이미징 및 파인 라인 패턴화와 같은 고급 리소그래피 응용 프로그램을 위해 설계되었습니다. MICROTEC 감마 (MICROTEC Gamma) 는 두 개의 독립적 인 헤드와 함께 작동하며, 각 헤드는 서로 다른 사전 설정 포토리스트 및 오버레이 뷰 매개변수를 볼 수 있습니다. 따라서 정밀 리소그래피 응용 프로그램 (precision lithography applications) 에 이상적입니다. 즉, 사용자가 photoresist의 다른 레이어와 오버레이 패턴에서 동시에 작업할 수 있기 때문입니다. 또한, 각 머리에는 더 높은 수준의 디테일을 위해 추가 객관식 렌즈를 장착 할 수 있습니다. KARL SUSS Gamma는 X 방향과 Y 방향 모두에서 조정 가능한 동력 단계와 더 큰 웨이퍼 크기를위한 큰 샘플 테이블을 갖추고 있습니다. 또한 특수 냉각 프로세스 (cooldown process) 가 포함되어 있어 작동 중 장치가 일관된 온도에 있는지 확인합니다. 이 기능을 사용하면 온도의 변화로 인해 열 변형 (thermal deformation) 이 발생할 수 있으므로 사용자가 매우 정확한 이미징을 얻을 수 있습니다. 정확성과 반복성을 보장하기 위해 Gamma photoresist 기계는 웨이퍼 정렬 도구로 설계되었습니다. 에셋은 웨이퍼 위치의 자동 정렬 (automatic alignment of wafer locations) 외에도 패턴을 수동으로 정렬할 수 있습니다. 이러한 기능을 사용하면 리소그래피 프로세스 동안 정밀 위치를 지정할 수 있습니다. 마지막으로 KARL SUSS/MICROTEC Gamma는 RGB 색상 최적화 모델도 포함합니다. 이 장비는 한 기판에서 다른 기판으로 색상과 색조를 정확하게 재현 (reproduction) 하여 일관된 결과를 보장하며, 사용자가 패턴을 정확하게 재현할 수 있도록 합니다. 전반적으로 MICROTEC Gamma photoresist 시스템은 고정밀 리소그래피 프로세스를위한 고급 솔루션입니다. 즉, 고유한 기능을 통해 높은 정밀도, 반복성으로 복잡한 패턴을 정확하게 생성할 수 있습니다. KARL SUSS Gamma는 조정 가능한 모터 스테이지, 특수 냉각 프로세스 및 RGB 색상 최적화 장치를 통해 고급 리소그래피 (lithography) 에 이상적인 솔루션을 제공합니다.