판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC Gamma #293605215
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ID: 293605215
빈티지: 2008
Spin coater
Spin coater module
Spray coater module
Developer module
Control panel
Load ports
SANKYO Robot
HMDs tool
Slot centering tool
Media cabinets
Pressure control
Media cabinets: Tank System
JULABO Temperature controller
Anlagen PC
Operating system: Windows 7
Temperature stack:
Hot plate
Cold plate
2008 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC Gamma (KARL SUSS/MICROTEC Gamma) 는 고급 마이크로 제조 프로세스에 가장 높은 정확성과 정밀도를 제공하도록 설계된 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 세밀한 고해상도 포토레시스트 (photoresist) 구조를 제작하기 위한 매우 정확하고 안정적인 플랫폼입니다. MICROTEC Gamma는 로봇 암, 높은 정확도의 선형 단계, 자동 8 "x12" 웨이퍼 로딩 장치 및 높은 확대, 풀 필드 이미지 캡처 기능을 갖추고 있습니다. 이 기계는 시간당 최대 350 개의 웨이퍼를 처리하고, 높은 정확도와 반복 성을 유지하도록 설계되었습니다. photoresist 과정은 자외선을 사용하여 웨이퍼에서 원하는 구조를 달성합니다. 확대/축소 컨트롤을 사용하면 광학 도구의 배율과 노출 시간을 변경할 수 있습니다. 노출 자산은 필요에 따라 노출 용량, 용량 속도, 스팟 크기의 자동 제어에 의해 제어됩니다. KARL SUSS 감마 (Karl SUSS Gamma) 는 또한 노출 온도를 조절하여 노출 해상도를 개선하기위한 통합 오븐을 특징으로합니다. 감마는 리소그래피, 에칭, 스퍼터링, 플라나라화 등 다양한 마이크로 패브라이션 프로세스에 사용될 수 있습니다. 웨이퍼 서피스에 적용된 Photoresist 레이어는 수동으로 제거하거나 자동 클리닝 시스템을 사용할 수 있습니다. 또한, KARL SUSS/MICROTEC Gamma는 photoresist의 새로운 레이어를 적용하기 전에 photoresist 레이어를 제거하는 데 사용될 수있다. 통합 정렬 모델 (Integrated Alignment Model) 은 여러 레이어의 포토레시스트를 적용하거나 노출 교정을 수행할 때 높은 정확성과 반복성을 보장합니다. 마이크로텍 감마 (MICROTEC Gamma) 는 또한 고급 소프트웨어 제품군을 갖추고 있으며, 이를 통해 사용자는 노출 데이터를 분석하고 향후 참조 결과를 저장할 수 있습니다. 이 소프트웨어는 또한 노출 문제를 감지하고 포토리스 (photoresist) 프로세스의 다양한 문제에 대해 자동으로 수정 할 수 있습니다. 결론적으로 KARL SUSS Gamma는 높은 정확도의 마이크로 분류 프로세스에 이상적인 포토 esist 장비입니다. 다양한 기능을 제공하므로 비용 효율적인 (cost-efficient) 설정으로 우수한 결과를 얻을 수 있습니다. 자동 웨이퍼 로딩 시스템, 통합 오븐, 강력한 소프트웨어 제품군 및 자동 컨트롤은 고급 포토레지스트 (photoresist) 응용 프로그램에 이상적인 조합을 만듭니다.
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