판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC Gamma #293605209

KARL SUSS/MICROTEC Gamma는 고급 마이크로 제조, 리소그래피 및 광학 응용 프로그램을 지원하도록 설계된 포토 esist 장비입니다. UV-radiation source, optical table 및 precision positioning system과 같은 다양한 구성 요소로 구성되어 있으며, 이는 micro- 및 nano-structure 생산에 적합한 환경을 제공합니다. UV 광원은 100nm에서 500nm 사이의 스펙트럼 범위의 미세하게 조절 가능한 전력 강도와 파장을 가지고 있습니다. 노출 시간을 줄이고 높은 해상도 패턴을 얻기 위해 최대 350mW/cm2를 제공합니다. 이 소스는 저항성 (resistive) 및 비저항성 (non-resistive) 광석학 재료에 적합하여 광범위한 응용 가능성을 허용합니다. 광학 테이블 (optical table) 은 큰 표면을 가진 알루미늄 또는 강철 구조로 구성되며, 광석기 작업 중 광학 구성 요소를 매우 정확하게 배치 할 수 있도록 레이저 컷 (laser-cut to flatness) 이 1µm 미만입니다. 최대 200kg까지 지원하는 조절 가능한 강철 베이스에 장착되어 노출 시간 동안 안정성이 향상되었습니다. 정밀 위치 장치 (precision positioning unit) 는 각각 5mm의 운동 범위를 가진 2 개의 고정밀 마이크로 미터 헤드로 구성됩니다. 각 마이크로 메터 헤드 (micrometerhead) 의 움직임을 독립적으로 제어함으로써, 매우 정확한 위치를 갖는 다양한 마이크로 및 나노 구조를 달성 할 수있다. MICROTEC Gamma에는 생산 프로세스를 용이하게하기위한 다양한 추가 액세서리도 포함되어 있습니다. 여기에는 베이스 플레이트와 포토 마스크 부착 프레임, 기판 및 마스크 정렬 단계, 진공 척 (vacuum chuck), 검색 모드 이동 가능한 단계 (movable stage) 가 포함됩니다. 전반적으로 KARL SUSS 감마 (Gamma) 는 나노 미터 수준까지 정밀도가 높은 마이크로 및 나노 구조를 생산하기에 적합한 환경을 제공합니다. 광학적으로 안정적인 기술, 빠른 노출 시간, 다양한 액세서리 (accessory) 는이 기계를 고급 사진 분석 응용 프로그램에 적합하게 만듭니다.