판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC Gamma #293605208

ID: 293605208
빈티지: 2015
Spin coater Back side cleaning (2) Spray coaters (2) HMDS Chambers (2) Cool plates No hotplate 2015 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC Gamma는 소제 제조 및 반도체 제조에 사용되는 컴퓨터 관리 장치 인 photoresist 장비입니다. 이 장치는 고급 리소그래피 (lithography), 사진 해설법 (photolithography), 품질 제어 (quality control) 및 웨이퍼 검증 (wafer verification) 등 다양한 프로세스에서 적용할 수 있습니다. 이 시스템은 고해상도 광학 장치 (optics unit) 와 다양한 프로세스, 진공 및 안전 기능을 활용하여 우수한 결과를 제공합니다. 비용 효율성, 신뢰성, 반복성을 위해 특별히 설계되었으며, 이는 마이크로 및 나노 구조의 생산에 이상적입니다. MICROTEC Gamma 기계는 주 프로세서와 프레임 장치의 두 가지 장치로 구성됩니다. 주 프로세서는 공구의 프로그래밍, 제어 및 작동을 가능하게 합니다. 터치 감지 LCD 디스플레이와 USB 포트가 포함되어 있으며, 마이크로 리토 그래피 공정에 사용하기 위해 20 개의 탈착식 fiducial plate 셔틀 어레이가 장착되어 있습니다. 프레임 유닛에는 고해상도 광학 에셋 (optics asset) 이 있으며, 이는 정확도가 높은 다양한 포토 리토 그래피 프로세스를 수행 할 수 있습니다. 여기에는 photolithography, mask alignment, metrology 및 etch 기반 패턴이 포함됩니다. 광학 구성 요소의 최대 해상도는 0.23 미크론입니다. 또한, 이 장치에는 진공 챔버, 압력 센서 및 안전 잠금 (Safety Lock) 모델이 있어 사용자가 빛이나 진동에 불필요한 노출되지 않도록 보호합니다. 장비에는 시스템 실행 및 관리를 위한 명령을 제공하는 소프트웨어 라이브러리 (software library) 와 추가 소프트웨어 컴포넌트를 사용할 수 있는 플러그인 구조 (plug-in structure) 도 있습니다. 이 장치에는 내장 마스크 리더 (mask reader) 모듈이 내장되어 있으며, 이를 통해 사용자는 USB 장치를 통해 설계 데이터를 전송하여 추가 처리를 수행할 수 있습니다. KARL SUSS Gamma photoresist 기계는 안정적이고 비용 효율적인 도구로서 탁월한 정확성과 반복성을 제공합니다. 고해상도 광학 장치, 진공실, 안전 잠금 장치 (Safety Lock), 내장형 소프트웨어 라이브러리 등의 고급 기능은 효율적이고 성공적인 석판화 (Lithography) 및 마이크로패브라이제이션에 필요한 정보와 제어 기능을 제공합니다.
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