판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC Gamma DSSP #9232865
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판매
ID: 9232865
빈티지: 2013
Coater / Developer system
4M
Quantity / Part number / Description
(1) / V700041 / SUSS Gamma microlithography cluster 4M
(1) / 100005154 / SUSS Gamma frame extension 2S
(1) / 100005155 / SUSS Gamma adjustable air flow cover 4M
(1) / 100009611 / Safety interlock for all doors on the system
(1) / 100005513 / Auto carrier ID dialog
(1) / V700032 / Bar code reader for sequence selection
(1) / 100009610 / Single end effector robot (SR8230)
(1) / V711021 / Optical cassette scanner
(1) / 100001254 / Special stacked (4) I/O gamma
(1) / Q11986-08 / Carrier-LEDs for (2) carriers
(1) / 100010113 / Rotational pre-aligner
(1) / Q200286-01 / Special fork type vacuum end effector R4-R6 for robot with minimized heat transfer
(2) / V709001 / SUSS Topography coater alta sprays
(2) / - / Special substrate assembly R6 alta sprays BSR
(2) / V734510 / Resist spray dispense system up to 30cP with filter and reservoirs
(2) / V723000 / Resist bottle holders
(2) / V723010 / Resist bottle adapters
(2) / V734520 / Pre wet dispense nozzle alta sprays
(2) / V734540 / BSR Dispense option alta sprays, 50ml
(2) / V734545 / Additional chuck vacuum lines
(2) / V745120 / Filter unit solvents
(1) / V736101 / Aqueous process module
(1) / V736111 / Programmable dispense arm AQ
(1) / V736135 / Substrate assembly R4-R6 AQ
(1) / V736300 / Puddle dispense system AQ
(1) / V736320 / Fan spray dispense system AQ
(1) / Q736320 / Fan spray dispense system AQ for 3rd line
(1) / V736340 / Topside rinse dispense AQ
(6) / V736390 / Flow detection sensors AQ
(1) / V745100 / Filter unit DI-water
(1) / V745110 / Filter unit AQ developer
(1) / V738030 / Nitrogen drying option
(1) / V740010 / Hot / Cool plate / Vacuum prime stack module
(2) / V744110 / Hot plate cassette 250° C proximities
(2) / V744230 / Cool plate cassette proximities
(1) / V744300 / Vacuum primer
(1) / 100000699 / Substrate assembly vacuum primer R2-R8
(1) / V744340 / Pressure tank system (5L Stainless steel / HMDS) / Bubbler
(1) / V744350 / Safety package HMDS
(1) / V826020 / JULABO FL601 TCU (50 Hz)
(3) / V760011 / Media storage stainless steels
(1) / V760120 / Pressure tank system (10L stainless steel bulk fill)
(2) / 100005184 / Pressure tank systems (5L PE bulk fill) KALREZ
(1) / V760240 / Waste canister (20L stainless steel) quick
(1) / V772005 / Additional gas monitor
2013 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC Gamma DSSP는 반도체 산업에서 마이크로 칩 제조에 널리 사용되는 고정밀 포토리스 장비입니다. 이 시스템은 정교한 광학과 결합된 고출력 (High-Power) UV 광원을 사용하여 다양한 포토 esist 재료에서 정확한 패턴을 생산할 수 있습니다. 장치의 핵심에는 1200 와트 제논 아크 램프 (Xenon arc lamp) 를 기반으로하는 감마 광원이 있습니다. 이를 통해 기계는 전력 및 노출 시간 모두에서 조정 가능한 고도로 집중된 UV 광원 (UV Light) 열을 생성 할 수 있습니다. 광선 은 "렌즈 '와" 미러' 한 세트 에 의하여 형성 되고 조화 된 다음 기판 으로 향한다. 공구의 핵심에는 CCD 포지셔너 (CCD positioner) 가 있는데, 이 포지셔너는 광원에 대한 기판의 정확하고 반복 가능한 정렬을 허용합니다. 이것 은 정확 한 양 의 빛 이 "표면 '에서 정확 히 올바른 위치 에 전달 되도록 한다. 또한 CCD 포지셔너 (positioner) 는 기판의 존재를 감지하고 필요한 조정을 통해 조명을 올바르게 초점을 맞출 수 있습니다. 이 자산에는 고출력 광원과 광학 (optics) 도 포함되어 있습니다. 광원과 광학 (optics) 을 세밀하게 조정하여 광물질 (photoresist) 의 가장 좋은 노출이 달성되도록 할 수 있습니다. 빛의 노출에 대한 정확한 제어는 미세한 세부 사항 (minute details) 을 포토 esist에 정확하게 옮길 수 있도록 보장합니다. MICROTEC Gamma DSSP photoresist 모델은 단일 레이어 및 이중 레이어 photoresist에서 매우 정확한 패턴을 생성 할 수 있습니다. 반도체 산업 전반에 걸쳐 다양한 집적회로와 마이크로칩 (microchip) 생산에 널리 사용된다. 카를 수스 감마 DSSP (KARL SUSS Gamma DSSP) 는 정교한 광학, 정밀한 제어 전자 제품 및 고출력 광원을 조합하여 매우 높은 수준의 디테일과 정확도로 패턴을 만들 수 있습니다.
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