판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC Gamma 80C #9210359

KARL SUSS / MICROTEC Gamma 80C
ID: 9210359
웨이퍼 크기: 8"
Spin coater, 8".
KARL SUSS/MICROTEC Gamma 80C 포토 esist 장비는 마이크로 일렉트로닉스 생산을 위해 설계된 침수 노출 도구입니다. 다양한 공급 업체의 소프트 및 하드 베이크 저항 구성에서 4 "~ 8" 직경, 6 마일 ~ 250 마일의 다양한 포토 esist 기술에 대한 광범위한 노출 기능이 있습니다. MICROTEC Gamma 80C에는 400mm 너비의 스캐닝 베드와 자동 웨이퍼 처리 시스템 (옵션 냉각 장치 포함) 이 있습니다. 이 기능에는 좁은 필드 노출, 필드 스티칭, 더 빠른 처리량 및 더 큰 웨이퍼 크기를 위해 멀티 필드 노출이 포함됩니다. 또한 KARL SUSS Gamma 80C에는 바코드 인식 장치가 제한되어 있으므로 다양한 리소그래피 작업을 수용하기 위해 노출 설정이 프로그램 적으로 변경할 수 있습니다. 감마 80C (Gamma 80C) 는 용도에 맞게 설계된 레이저 자동 정렬기 (auto-aligner) 와 단일 웨이퍼의 여러 영역에서 용량 수준을 정확하게 제어 할 수있는 노출 제어 머신을 모두 갖추고 있습니다. 또한, 이 툴에는 매개변수 구성, 시뮬레이션, 진단 등 성공적인 노출 프로세스 (Exposure Process) 를 설정 및 자동화하는 데 필요한 전체 소프트웨어와 제어 기능이 있습니다. KARL SUSS/MICROTEC Gamma 80C는 솔리드 필드 빔 균일성 교정 도구를 사용하여 반복 가능하고 일관된 인쇄를 제공합니다. 동적 회색 배율 (dynamic grey scale) 보정 알고리즘과 함께 사용할 경우, 노출 전 매개변수를 세밀하게 조정하고 용량 동질성을 제어하여 노출된 모양의 정확성과 반복성을 증가시킵니다. MICROTEC Gamma 80C에는 노출 성능 및 프로세스 안정성에 대한 피드백을 제공하는 내장 통합 빔 모니터 모듈도 있습니다. 이 피드백을 사용하면 즉각적인 조정으로 결과를 최적화하고 실시간 프로세스 제어를 위한 온라인 데이터를 제공합니다. 마지막으로 KARL SUSS Gamma 80C는 보안 인쇄, 고급 산업 섬유, 인쇄 회로 보드 및 기타 정밀 포토 esist 작업에서 리소그래피 응용 프로그램을위한 최고의 도구입니다. 정확성, 반복성, 자동화된 옵션으로 인해 모든 photoresist 작업에 완벽한 선택이 가능합니다.
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